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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置及衬底搬送方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114068356B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110862280.7，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权衬底处理装置及衬底搬送方法是由菊本宪幸设计研发完成，并于2021-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本衬底处理装置及衬底搬送方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种衬底处理装置及衬底搬送方法。衬底处理装置100的第2搬送机构23具备第1非共用手H_F、第2非共用手H_S及M个共用手H_1～H_M。在1个搬送循环内，M个共用手H_1～H_M在不同的时机下支撑处理前的衬底W与处理后的衬底W。在1个搬送循环内，第1非共用手H_F仅支撑处理前的衬底W。在1个搬送循环内，第2非共用手H_S仅支撑处理后的衬底W。在第2搬送机构23已从衬底载置部29接收N片衬底W的状态下，第2非共用手H_S未支撑衬底W，而M个共用手H_1～H_M及第1非共用手H_F支撑衬底W。

本发明授权衬底处理装置及衬底搬送方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，具备： 衬底载置部，供载置多片衬底； 多个处理单元，各自处理所述衬底；及 搬送机构，在所述衬底载置部与所述处理单元之间搬送所述衬底；且 在1个搬送循环内，所述搬送机构从所述衬底载置部接收N片所述处理单元加以处理前的所述衬底，并将所述N片衬底向所述多个处理单元中的N个处理单元搬入，且从所述N个处理单元搬出所述N个处理单元加以处理后的所述N片衬底，并将所述N片衬底递交至所述衬底载置部，其中，N是2以上的整数； 所述搬送机构具备各自支撑所述衬底的多个手， 所述多个手包含第1非共用手、第2非共用手、及配置在所述第1非共用手与所述第2非共用手之间的M个共用手，其中，M是1以上的整数， 所述第1非共用手、所述M个共用手及所述第2非共用手是从所述第1非共用手至所述第2非共用手，沿着上下方向连续地配置； 在所述1个搬送循环内，所述M个共用手在不同的时机下支撑所述处理单元加以处理前的所述衬底与处理后的所述衬底， 在所述1个搬送循环内，所述第1非共用手仅支撑所述处理单元加以处理前的所述衬底， 在所述1个搬送循环内，所述第2非共用手仅支撑所述处理单元加以处理后的所述衬底， 在所述搬送机构已从所述衬底载置部接收所述N片衬底的状态下，所述第2非共用手未支撑所述衬底，而所述M个共用手及所述第1非共用手支撑所述衬底， 所述M个共用手、所述第1非共用手及所述第2非共用手的合计个数是N＋1个，且 M＝N－1， 所述多个手的总数是2N个。

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