厦门市三安集成电路有限公司邱显洪获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门市三安集成电路有限公司申请的专利一种一体化成型的声表面波滤波器及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114094980B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110968135.7，技术领域涉及：H03H9/64；该发明授权一种一体化成型的声表面波滤波器及其制作方法是由邱显洪;蔡文必设计研发完成，并于2021-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种一体化成型的声表面波滤波器及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种一体化成型的声表面波滤波器及其制作方法，该制作方法通过在衬底上依次形成压电层和叉指电路层，再涂覆光刻胶，对光刻胶进行曝光显影，制作出连接叉指电路层的电极的通孔和具有封装电路图形的沟槽，在通孔和沟槽内填充导电材料以形成与叉指电路层连接的封装电路层，重复以上步骤，制作出快速一体成型的声表面波滤波器。本申请的声表面波滤波器的制作方法可以同时实现快速一体化成型，不需要将晶圆段制作与封装制作分开制作，所需要的设备少，工序简化，成本低，有利于大规模工业化生产。
本发明授权一种一体化成型的声表面波滤波器及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种一体化成型的声表面波滤波器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤： S1，在依次形成有压电层和叉指电路层的衬底上方涂覆光刻胶； S2，对所述光刻胶进行曝光、显影，制作出存在部分相连的通孔和沟槽； S3，在所述通孔和所述沟槽内填充导电材料以形成与所述叉指电路层连接的封装电路层具体包括： S31，在形成有所述通孔和所述沟槽的所述光刻胶上蒸镀所述导电材料； S32，去除多余的所述导电材料，以使所述通孔和所述沟槽内的导电材料表面与所述光刻胶表面平齐； S4，重复步骤S1-S3，制作出所述表面波滤波器。
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