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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利高灵敏度的基于影像的反射测量获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115380194B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180027623.6，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权高灵敏度的基于影像的反射测量是由赵国衡;梅迪·瓦泽-艾拉瓦尼设计研发完成，并于2021-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本高灵敏度的基于影像的反射测量在说明书摘要公布了：用于执行成像反射测量的方法包括：使用具有第一峰值波长的输入射束照射样品上的测量区域；及使用所述输入射束的从所述样品反射的部分获得所述测量区域的多个影像。为这些影像的每个影像中的多个像素的每个像素确定反射强度值。使用反射强度值来确定与特定结构相关联的参数。

本发明授权高灵敏度的基于影像的反射测量在权利要求书中公布了：1.一种用于执行成像反射测量的方法，所述方法包括： 使用具有第一峰值波长的第一输入射束照射样品的表面； 在成像传感器处接收所述第一输入射束的从所述样品反射的部分； 使用所述第一输入射束的从所述样品反射且在所述成像传感器处接收的所述部分来获得所述样品的多个第一影像，所述多个第一影像中的每一者均包括多个像素，其中第一对应像素包括来自所述多个第一影像中的每一者且在所述多个第一影像中的每一者中与所述样品的相同的一部分相关联的单个像素； 为所述多个第一影像的每个第一影像的在测量区域内的所述多个像素的每个像素确定第一反射强度值； 基于在所述测量区域内的所述第一对应像素中的每个像素的所述第一反射强度值来确定单个值作为所述测量区域内的所述第一对应像素中的每一者的第一代表反射强度； 至少部分地基于与所述测量区域相关联的所述第一对应像素的每一者的所述第一代表反射强度，来确定与所述测量区域相关联的第一参数； 使用具有与所述第一峰值波长不同的第二峰值波长的第二输入射束照射所述样品的所述表面； 在所述成像传感器处接收所述第二输入射束的从所述样品反射的部分； 使用所述第二输入射束的从所述样品反射且在所述成像传感器处接收的所述部分来获得所述样品的多个第二影像，所述多个第二影像中的每一者均包括多个像素，其中第二对应像素包括来自所述多个第二影像中的每一者的在所述多个第二影像中的每一者中与所述样品的相同的一部分相关联的单个像素； 为所述多个第二影像的每个第二影像的在所述测量区域内的所述多个像素的每个像素确定第二反射强度值； 基于在所述测量区域内的所述第二对应像素中的每个像素的所述第二反射强度值来确定单个值作为所述测量区域内的所述第二对应像素中的每一者的第二代表反射强度；及 至少部分地基于与所述测量区域相关联的所述第二对应像素的每一者的所述第二代表反射强度，来确定与所述测量区域相关联的第二参数。

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