细美事有限公司崔基熏获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置和基板处理方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115458437B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210646945.5,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权基板处理装置和基板处理方法是由崔基熏;吴世勋;郑映大;金泰熙;全瑛恩设计研发完成,并于2022-06-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置和基板处理方法在说明书摘要公布了:本发明涉及基板处理装置和基板处理方法。基板处理装置包括:支承单元,该支承单元用于支承并旋转基板,在该基板上形成有第一图案和与所述第一图案不同的第二图案;液体供应单元,该液体供应单元用于将处理液供应至支承在支承单元上的基板;以及加热单元,该加热单元用于加热第一图案和第二图案中的任一者。
本发明授权基板处理装置和基板处理方法在权利要求书中公布了:1.一种基板处理装置,所述基板处理装置包括: 支承单元,所述支承单元用于支承并旋转基板,在所述基板上形成有第一图案和与所述第一图案不同的第二图案; 液体供应单元,所述液体供应单元用于将处理液供应至支承在所述支承单元上的所述基板; 加热单元,所述加热单元用于加热所述第一图案和所述第二图案中的任一者,以及 控制器,所述控制器用于控制所述加热单元、所述液体供应单元和所述支承单元, 其中,所述加热单元包括: 发射构件,所述发射构件用于将具有热能的光发射至所述基板;以及 移动构件,所述移动构件用于改变所述发射构件的位置, 其中,所述控制器控制所述支承单元,以便在所述发射构件将所述光发射至所述基板的情况下不旋转所述基板。
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