台湾积体电路制造股份有限公司刘陶承获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利微机电系统装置及其形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115520830B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210056332.6，技术领域涉及：B81B7/00；该发明授权微机电系统装置及其形成方法是由刘陶承;颜振轩;陈盈薰设计研发完成，并于2022-01-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本微机电系统装置及其形成方法在说明书摘要公布了：一种微机电系统装置及其形成方法，微机电系统MEMS装置包含位于外壳内的空腔中的活动梳状结构及固定至外壳的静止结构。活动梳状结构包含梳轴部分及自梳轴部分侧向突出的活动梳指。活动梳状结构包含金属材料部分。活动结构及静止结构被用以基于活动结构相对于静止结构的侧向移动来产生电输出信号。
本发明授权微机电系统装置及其形成方法在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统装置，其特征在于，包括： 一活动梳状结构，位于一外壳内的一空腔中且包括： 一梳轴部分；及 多个活动梳指，自该梳轴部分侧向突出，其中该活动梳状结构包括一金属材料部分以及一与该金属材料部分接触的半导体材料部分；及一静止结构，固定至该外壳，其中该活动梳状结构及该静止结构用以基于该活动梳状结构相对于该静止结构的侧向移动来产生一电输出信号。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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