清华大学周明获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学申请的专利反射式贝塞尔激光微纳加工装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115555708B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211275611.8,技术领域涉及:B23K26/06;该发明授权反射式贝塞尔激光微纳加工装置及方法是由周明;冯世嘉;杨名扬;林佳聪设计研发完成,并于2022-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本反射式贝塞尔激光微纳加工装置及方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种反射式贝塞尔激光微纳加工装置及方法,涉及激光微纳加工技术领域。反射式贝塞尔激光微纳加工装置包括光源组件、反射式贝塞尔组件、光束聚焦组件和控制组件,光源组件适于发射激光光束,反射式贝塞尔组件适于将激光光束整形为贝塞尔光束,并改变贝塞尔光束的传播方向以形成反射式贝塞尔光束,光束聚焦组件适于汇聚反射式贝塞尔光束,控制组件适于控制反射式贝塞尔光束的聚焦点与工件之间的相对位置。应用本发明提供的反射式贝塞尔激光微纳加工装置及方法,可以实现对工件的高精度加工,提高成品率。
本发明授权反射式贝塞尔激光微纳加工装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种反射式贝塞尔激光微纳加工装置,其特征在于,包括: 光源组件,所述光源组件包括激光器和传输光路,所述激光器适于发射激光光束,所述传输光路适于传输所述激光光束,所述传输光路包括第一反射镜,所述第一反射镜适于将所述激光光束传输到第一聚焦点; 反射式贝塞尔组件,所述反射式贝塞尔组件适于将所述激光光束整形为贝塞尔光束,并改变所述贝塞尔光束的传播方向以形成反射式贝塞尔光束; 所述反射式贝塞尔组件包括第二反射镜组、连续变倍可调扩束镜和反射式轴棱锥镜,所述连续变倍可调扩束镜适于改变所述第一聚焦点处的激光光束的直径,所述连续变倍可调扩束镜的扩束比可调为2:1~6:1,所述反射式轴棱锥镜适于将经过所述连续变倍可调扩束镜的所述激光光束转换为所述贝塞尔光束,所述反射式轴棱锥镜入射光斑为5mm,出射贝塞尔光束为43um直径,所述第二反射镜组适于改变所述贝塞尔光束的传播方向以形成所述反射式贝塞尔光束,并汇聚所述反射式贝塞尔光束至第二聚焦点; 光束聚焦组件,所述光束聚焦组件适于汇聚所述反射式贝塞尔光束; 控制组件,所述控制组件适于控制所述反射式贝塞尔光束的聚焦点与工件之间的相对位置。
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