旭化成微电子株式会社金野翔太获国家专利权
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龙图腾网获悉旭化成微电子株式会社申请的专利校准装置、校准方法以及校准程序获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115597650B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210747172.X,技术领域涉及:G01D18/00;该发明授权校准装置、校准方法以及校准程序是由金野翔太;片山贵登设计研发完成,并于2022-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本校准装置、校准方法以及校准程序在说明书摘要公布了:本发明提供一种校准装置、校准方法以及校准程序。提供一种校准装置,具备:获取部,其针对移动体的每个实际位置获取移动体的检测位置;计算部,其针对所述移动体的每个实际位置的检测位置,计算用于检测狭缝位置的狭缝位置信号同与所述移动体的实际位置相应的理想的狭缝编号之间的误差;判定部,其判定是否以预先决定的大小的第一狭缝为单位的狭缝编号至少一部分不同的2个以上的实际位置与同一检测位置对应;以及生成部,其响应于所述2个以上的实际位置与同一检测位置对应,在该检测位置处,针对狭缝位置信号生成用于对2个以上的实际位置的各位置处的误差之间的大小进行校正的校正值。
本发明授权校准装置、校准方法以及校准程序在权利要求书中公布了:1.一种位置检测装置,具有: 编码器;以及 存储装置, 其中,所述编码器实施以下处理: 根据与设置于移动体的第一狭缝轨道有关的传感器的输出来获取第一检测值; 根据与设置于移动体的第二狭缝轨道有关的传感器的输出来获取第二检测值; 基于所述第一检测值和所述第二检测值来计算狭缝位置信号; 基于所述狭缝位置信号来计算第一狭缝编号; 基于所述第一狭缝编号和所述第一检测值的检测结果,来从所述存储装置获取用于对所述狭缝位置信号进行校正的预先决定的校正值; 对所述狭缝位置信号应用所述校正值,并基于校正后的所述狭缝位置信号来获取校正后的所述第一狭缝编号;以及 基于校正后的所述第一狭缝编号和所述第一检测值来导出所述移动体的位置, 并且,所述校正值是通过以下处理来决定的: 在所述移动体的移动范围内,在多个检查位置分别获取基准狭缝位置信号,基于各所述基准狭缝位置信号来决定与所述多个检查位置中的各检查位置对应的理想狭缝编号; 在所述多个检查位置中的各检查位置获取所述狭缝位置信号,并基于该狭缝位置信号来获取检测位置,且获取该狭缝位置信号相对于所述多个检查位置中的各检查位置处的所述基准狭缝位置信号的误差; 基于获取到的各检测位置进行以下处理: 针对在不同的2个以上的检查位置获取到所述理想狭缝编号的检测位置,基于与该检测位置关联的2个以上的误差的最大值与最小值之间的任意值来生成校正值。
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