广州集成电路技术研究院有限公司古奕凡获国家专利权
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龙图腾网获悉广州集成电路技术研究院有限公司申请的专利预热环和基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115704108B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110907191.X，技术领域涉及：H10W40/22；该发明授权预热环和基板处理装置是由古奕凡;罗际蔚;林聪志设计研发完成，并于2021-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本预热环和基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种预热环和基板处理装置，所述预热环包括呈相对设置的顶表面和底表面，所述预热环中央处设有通孔，至少部分所述顶表面朝向所述通孔倾斜，并与水平面呈锐角设置。本发明旨在提供一种有效减缓基板表面边缘区域的湍流现象的预热环，从而使得基板上所沉积薄膜层厚度实现均匀。
本发明授权预热环和基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种预热环，应用于基板处理装置，其特征在于，所述预热环包括呈相对设置的顶表面和底表面，所述预热环中央处设有通孔，至少部分所述顶表面朝向所述通孔倾斜，并与水平面呈锐角设置； 其中，至少部分所述顶表面的倾斜角度为1°~15°。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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