上海中欣晶圆半导体科技有限公司王庆荣获国家专利权
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龙图腾网获悉上海中欣晶圆半导体科技有限公司申请的专利一种倒角加工规格纠错的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115717855B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211359197.9，技术领域涉及：G01B5/08；该发明授权一种倒角加工规格纠错的方法是由王庆荣设计研发完成，并于2022-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种倒角加工规格纠错的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种倒角加工规格纠错的方法，包括：步骤一，通过在晶圆成品上使用游标卡尺精确测量晶圆成品的直径数据、垂直直径数据从而获取参考面长度，将参考面长度的信息录入到系统中；步骤二，再通过砂轮编码的信息获取倒角轮廓形貌，将倒角轮廓形貌的信息录入到系统中；步骤三，在系统中输入样本晶圆的参考面长度值，并且与系统内部自动调取的晶圆参考面长度规格，相之比对，若超出规范，将作出报错提示，停止加工；步骤四，在系统中输入砂轮编码的信息，调取系统中的该砂轮的倒角轮廓形貌，再与样本晶圆的轮廓形貌规格与之作比对，同样的，若各自读取的信息不符，将作报错提示，停止加工。
本发明授权一种倒角加工规格纠错的方法在权利要求书中公布了：1.一种倒角加工规格纠错的方法，其特征在于，包括： 步骤一，通过在晶圆成品上使用游标卡尺精确测量晶圆成品的直径数据、垂直直径数据从而获取参考面长度，将参考面长度的信息录入到系统中； 步骤二，再通过砂轮编码的信息获取倒角轮廓形貌，将倒角轮廓形貌的信息录入到系统中； 步骤三，在系统中输入样本晶圆的参考面长度值，并且与系统内部自动调取的晶圆参考面长度规格，相之比对，若超出规范，将作出报错提示，停止加工； 步骤四，在系统中输入砂轮编码的信息，调取系统中的该砂轮的倒角轮廓形貌，再与样本晶圆的轮廓形貌规格与之作比对，同样的，若各自读取的信息不符，将作报错提示，停止加工。
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