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龙图腾网获悉徐州鑫晶半导体科技有限公司申请的专利检测晶棒晃动的系统、晶棒晃动的检测方法和校准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115928196B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211478357.1，技术领域涉及：C30B15/20；该发明授权检测晶棒晃动的系统、晶棒晃动的检测方法和校准方法是由陈俊宏设计研发完成，并于2022-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本检测晶棒晃动的系统、晶棒晃动的检测方法和校准方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种检测晶棒晃动的系统、晶棒晃动的检测方法和校准方法，检测晶棒晃动的系统包括待检件和距离检测组件，待检件适于连接于拉晶绳的下端，待检件具有至少三个检测面，多个检测面同轴设置且分别处于不同高度，第一检测面和第二检测面上下间距为h1，第一检测面和第三检测面上下间距为h2，h2＞h1，距离检测组件包括多个距离检测元件，每个距离检测元件的检测位置适于与第一检测面的外周沿上下正对，其中，每个距离检测元件用于检测其与位于其正下方的对应检测面之间的上下距离。根据本发明的检测晶棒晃动的系统，可以准确判断晶棒是否发生晃动以及晃动幅度大小，以便及时做出相应处理。

本发明授权检测晶棒晃动的系统、晶棒晃动的检测方法和校准方法在权利要求书中公布了：1.一种检测晶棒晃动的系统，其特征在于，包括： 待检件，所述待检件适于连接于拉晶绳的下端，所述待检件的下端设置有籽晶，所述籽晶与所述待检件、所述拉晶绳同轴设置，所述待检件具有至少三个检测面，多个所述检测面同轴设置且分别处于不同高度，多个所述检测面包括沿径向由内向外依次设置的第一检测面、第二检测面和第三检测面，所述第一检测面的径向宽度大于所述第二检测面的径向宽度，所述第一检测面和所述第二检测面上下间距为h1，所述第一检测面和所述第三检测面上下间距为h2，h2＞h1； 距离检测组件，所述距离检测组件适于固设于晶体生长炉的顶部，且所述距离检测组件位于所述待检件的上方，所述距离检测组件包括沿所述第二检测面的周向间隔设置的多个距离检测元件，每个所述距离检测元件与所述第二检测面的中心轴线之间的径向距离相等，每个所述距离检测元件的检测位置适于与所述第一检测面的外周沿上下正对， 其中，每个所述距离检测元件用于检测其与位于其正下方的对应所述检测面之间的上下距离。

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