北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)赵宝君获国家专利权
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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利集成电路制造设备的工作台及集成电路制造设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116125760B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310143319.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权集成电路制造设备的工作台及集成电路制造设备是由赵宝君;田世伟;赵宏亮;李建辉;李志龙设计研发完成，并于2023-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本集成电路制造设备的工作台及集成电路制造设备在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体加工技术领域，具体而言，涉及一种集成电路制造设备的工作台及集成电路制造设备，所述侧向气浮组件和所述垂向气浮组件均安装于所述连接组件，在所述X向气浮导轨上设置有在X方向上延伸到的第一气浮部，在所述基座上设置有在X方向上延伸的第二气浮部，侧向气浮组件与所述第一气浮部配合，所述垂向气浮组件与所述第二气浮部配合，所述第一X向直线电机的定子固定于所述X向气浮导轨，所述第一X向直线电机的动子固定于所述连接组件，所述第二定位模块安装于所述Y向气浮导轨。本申请的目的在于针对背景技术中所述的至少一种技术问题，提供一种集成电路制造设备的工作台及集成电路制造设备。
本发明授权集成电路制造设备的工作台及集成电路制造设备在权利要求书中公布了：1.集成电路制造设备的工作台，其特征在于，包括基座、第一定位模块和第二定位模块，所述第一定位模块包括第一X向直线电机，X向气浮导轨、Y向气浮导轨、连接组件、侧向气浮组件和垂向气浮组件，所述X向气浮导轨固定于所述基座，所述连接组件固定于所述Y向气浮导轨的一端，所述侧向气浮组件和所述垂向气浮组件均安装于所述连接组件，在所述X向气浮导轨上设置有在X方向上延伸到的第一气浮部，在所述基座上设置有在X方向上延伸的第二气浮部，侧向气浮组件与所述第一气浮部配合，所述垂向气浮组件与所述第二气浮部配合，所述第一X向直线电机的定子固定于所述X向气浮导轨，所述第一X向直线电机的动子固定于所述连接组件，所述第二定位模块安装于所述Y向气浮导轨。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区泰河三街1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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