株式会社村田制作所樋口敬之获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社村田制作所申请的专利谐振装置以及谐振装置制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116133782B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180063936.7，技术领域涉及：H03H9/24；该发明授权谐振装置以及谐振装置制造方法是由樋口敬之;福光政和设计研发完成，并于2021-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本谐振装置以及谐振装置制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够抑制接合部的接合不良的谐振装置以及谐振装置制造方法。谐振装置1具备：包含谐振器10的MEMS基板50、上盖30、以及具有导电性且接合MEMS基板50和上盖30的接合部60，MEMS基板50还包含与作为谐振器10的下部电极的Si基板F2电连接的布线层81、以及将布线层81和接合部60电连接的防扩散层85。
本发明授权谐振装置以及谐振装置制造方法在权利要求书中公布了：1.一种谐振装置，具备： 第一基板，包含谐振器； 第二基板；以及 接合部，具有导电性，接合上述第一基板和上述第二基板， 上述第一基板还包含布线层和防扩散层，其中，上述布线层与上述谐振器的下部电极电连接，上述防扩散层将该布线层与上述接合部电连接。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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