买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种多能场耦合辅助增强射流交叉孔去毛刺化学机械抛光装备及加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116214281B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310130911.5，技术领域涉及：B24B1/04；该发明授权一种多能场耦合辅助增强射流交叉孔去毛刺化学机械抛光装备及加工方法是由张振宇;李玉彪;刘璐;朱嘉旭;董立光;吴耀文设计研发完成，并于2023-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多能场耦合辅助增强射流交叉孔去毛刺化学机械抛光装备及加工方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种多能场耦合辅助增强射流交叉孔去毛刺化学机械抛光装备及加工方法，包括机架和安装在机架内的加工舱，收集舱，过滤舱，物料舱，水箱，喷嘴系统，光源，超声发生器，真空泵，高压泵，控制系统和外壳钣金。其将化学机械抛光方法应用于相交内孔抛光，实现了深交叉孔内毛刺的精确去除和内壁精密抛光。并通过喷嘴系统内引入光源，以光催化辅助提高化学机械抛光中的化学反应速率，降低反应势垒，提高反应活性，进而提高抛光效率。同时通过控制高压泵压力和扰流器，可以精确控制喷嘴系统内的流场行为，避免了在深交叉孔去毛刺抛光时出现“过抛”、“倒棱”、“欠抛”等过度损伤缺陷，以实现深交叉孔内毛刺精确去除和内壁精密抛光。

本发明授权一种多能场耦合辅助增强射流交叉孔去毛刺化学机械抛光装备及加工方法在权利要求书中公布了：1.一种多能场耦合辅助增强射流交叉孔去毛刺化学机械抛光装备，包括机架和安装在机架内的加工舱、收集舱、物料舱、水箱、喷嘴系统、光源、超声发生器、高压泵和控制系统，还包括上盖和真空泵，所述真空泵安装于机架，所述加工舱、收集舱、物料舱、水箱依次相连；所述加工舱用于盛放工件及盛装化学机械抛光液，所述加工舱外壁四周设置有喷嘴系统安装位；所述收集舱安装于加工舱底部，用于收集并初步过滤化学机械抛光液中混入的毛刺屑及其他杂质；所述物料舱用于将化学机械抛光液中的磨粒分离存储在其中；所述水箱用于盛放化学机械抛光液，所述水箱的输出端通过高压泵和喷嘴系统相连；所述光源安装于机架，光源与喷嘴系统的光源接口相连通，光源用于通过光催化提高化学反应活性，增强化学机械抛光过程；所述超声发生器与喷嘴系统相连，用于通过可控超声辅助增强化学机械抛光液中磨粒的机械作用力，所述控制系统用于调节高压泵压力和喷嘴及其内部单元的输出状态，进而精确控制喷嘴系统内的多能场耦合后的流场行为； 所述喷嘴系统包括喷嘴入口，阀座，光源接口，混合器，扰流器，超声外壳，换能器，压电陶瓷，喷嘴外壳，密封圈，入料口，所述喷嘴入口为管状结构，一端与高压泵出口相连通，加压后的化学机械抛光液从喷嘴入口进入喷嘴系统，所述阀座为两端面内凹，中间开孔的圆柱形结构，安装于喷嘴入口内，与喷嘴入口间隙配合，所述混合器为管状结构，外圆柱面设置有与内部相通的光源接口和入料口，混合器一端通过螺纹连接安装于喷嘴入口内部，并对阀座限位，入料口与物料舱出口相连通，物料舱中的磨粒通过管路进入入料口后在混合器中与喷嘴入口通入的化学机械抛光液混合；所述光源根据为可拆卸式，根据加工需要进行选择，光源接口与光源相连通，光源接口通入的光源用于在混合器内起到光催化的作用，提高化学机械抛光液中的化学反应活性； 喷嘴外壳中还设有电磁线圈，当电磁线圈通电时在喷嘴外壳内形成可控的磁场，通过控制系统控制电磁线圈的供电，使其形成恒定的磁场，进而形成恒定的把持力，或是通过对电磁线圈进行周期性或脉冲型供电，进而形成周期性或脉冲型把持力。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人大连理工大学，其通讯地址为：116024 辽宁省大连市高新园区凌工路2号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。