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龙图腾网获悉上海微崇半导体设备有限公司申请的专利基于二次谐波的晶圆检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120895489B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510974708.5，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权基于二次谐波的晶圆检测方法及系统是由张羽婵;黄崇基;赵威威;周朴希设计研发完成，并于2025-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于二次谐波的晶圆检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于二次谐波的晶圆检测方法及系统，其中，方法包括：获取待测样品中的预选测点处的实测二次谐波检测信号集，实测二次谐波检测信号集包括：预选测点被来自不同方位角的光源照射后、受激发所产生的多个二次谐波检测信号；基于预设的拟合算法对实测二次谐波检测信号集中的多个二次谐波检测信号进行拟合处理，获取晶格特性检测曲线数据；根据获取到的晶格特性检测曲线数据，以确定预选测点处的晶圆的状态。由于相关操作均是基于二次谐波检测信号执行的，其具备信号采集速度快的特点，其可满足更快速检测的要求、实现在线检测。采用本发明的基于二次谐波的晶圆检测方法及系统具备检测效率高、响应速度快，性能良好、适应性佳的特点。

本发明授权基于二次谐波的晶圆检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于二次谐波的晶圆检测方法，其特征在于，所述晶圆检测方法包括： 获取待测样品中的预选测点处的实测二次谐波检测信号集，所述实测二次谐波检测信号集包括：所述预选测点被来自不同方位角的光源照射后、受激发所产生的多个二次谐波检测信号； 基于预设的拟合算法对所述实测二次谐波检测信号集中的多个所述二次谐波检测信号进行拟合处理，获取晶格特性检测曲线数据； 根据获取到的所述晶格特性检测曲线数据，以确定所述预选测点处的晶圆的状态； 所述晶格特性检测曲线数据基于所述实测二次谐波检测信号集中的多个所述二次谐波检测信号中的P偏振光拟合得出时，所述预设的拟合算法包括下式1： 式1； 其中，为晶格特性检测曲线数据中与P偏振光对应的二次谐波信号的值，为所述与P偏振光对应的二次谐波信号的值所对应的所述光源照向所述预选测点时的方位角，为预设的常数，和为用于反映所述预选测点处的晶圆的状态的系数，由基于上述式1得到所述晶格特性检测曲线数据构成第一测试目标特征曲线。

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