买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉华芯半导体科技有限公司申请的专利一种VCSEL芯片附带变容积功能的干式真空系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121046823B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511596204.0，技术领域涉及：C23C16/54；该发明授权一种VCSEL芯片附带变容积功能的干式真空系统是由梁高明;王小芹;陈芸;李往林;田正如;汤秀娟;尧舜设计研发完成，并于2025-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种VCSEL芯片附带变容积功能的干式真空系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种VCSEL芯片附带变容积功能的干式真空系统，本发明涉及干式真空设备技术领域，该干式真空系统包括地台、机箱、柔性金属管、真空机构和辅助机构，真空机构包括箱体和底脚，机箱、底脚、辅助机构均与地台固定连接，箱体上设有气孔，辅助机构包括分子泵，柔性金属管与气孔、分子泵均固定连接，真空机构、辅助机构均与机箱通过电信号连接；本发明通过多个独立温控区，实时补偿腔体热损失，从而实现晶圆表面的极致温度均匀性，根据需求调整适配晶圆的腔室容积，主动循环内部辅助气体，使晶圆充分接触辅助气体，提升晶圆反应效率。

本发明授权一种VCSEL芯片附带变容积功能的干式真空系统在权利要求书中公布了：1.一种VCSEL芯片附带变容积功能的干式真空系统，其特征在于：所述干式真空系统包括地台1、机箱2、柔性金属管3、真空机构4和辅助机构5，所述真空机构4包括箱体41和底脚43，所述机箱2、底脚43、辅助机构5均与地台1固定连接，所述箱体41上设有气孔411，所述辅助机构5包括分子泵53，所述柔性金属管3与气孔411、分子泵53均固定连接，所述真空机构4、辅助机构5均与机箱2通过电信号连接； 所述真空机构4还包括变腔机构46和均风机构47，所述变腔机构46包括第一电机461和装配板463； 所述均风机构47包括第二电机471、第二齿轮杆472和环转盘473和伺服气缸474，所述第二电机471与装配板463固定连接，所述第二电机471输出端与第二齿轮杆472固定连接，所述环转盘473上设有侧环齿槽4731，所述第二齿轮杆472与侧环齿槽4731齿面啮合，所述环转盘473与装配板463转动连接，所述第二电机471、伺服气缸474均与机箱2通过电信号连接； 所述均风机构47还包括顶盘杆475和调扇机构476，所述伺服气缸474与环转盘473固定连接，所述伺服气缸474输出端与顶盘杆475固定连接，所述装配板463上还设有中心孔4632，所述顶盘杆475与中心孔4632接触，所述调扇机构476设有若干组，若干组所述调扇机构476沿环转盘473圆周均布，所述顶盘杆475上设有铰接扣4751，所述调扇机构476包括滑轨4761和扇叶4764，所述滑轨4761与环转盘473固定连接，所述扇叶4764与铰接扣4751铰接； 所述调扇机构476还包括铰接座4762和转轴4763，所述铰接座4762与滑轨4761滑动连接，所述转轴4763与铰接座4762铰接，所述转轴4763与扇叶4764固定连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华芯半导体科技有限公司，其通讯地址为：225500 江苏省泰州市姜堰区罗塘街道现代科技产业园(群东路88号)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。