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龙图腾网获悉江苏神州半导体科技有限公司申请的专利等离子体源功率反射功率调控方法、系统及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121077213B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511605439.1，技术领域涉及：H02M1/00；该发明授权等离子体源功率反射功率调控方法、系统及设备是由潘小刚;朱国俊设计研发完成，并于2025-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本等离子体源功率反射功率调控方法、系统及设备在说明书摘要公布了：本发明涉及功率调控相关技术领域，具体包括等离子体源功率反射功率调控方法、系统及设备，所述方法包括：确定功率调控网络；确定第一、第二协同电压调控参数集；确定第三、第四协同电压调控参数集；结合功率调控指标，对功率调控网络的初始输入电压进行在线修正，确定自适应电压调控参数组合。解决了仅针对反射功率单一指标制定固定参数策略，无法解决因负载阻抗波动导致二次反射的调控失衡问题，调控参数与实际工况适配度低的技术问题，实现了确定功率调控网络的核心组件及耦合关系，根据不同工况动态调用适配参数，快速响应电网波动、负载突变等干扰，提升功率输出稳定性、保障刻蚀速率，提高调控参数与实际工况适配度的技术效果。

本发明授权等离子体源功率反射功率调控方法、系统及设备在权利要求书中公布了：1.等离子体源功率反射功率调控方法，其特征在于，所述方法包括： 确定功率调控网络，所述功率调控网络对应的核心组件包括Boost电路、定向耦合器、反应腔体负载； 根据所述Boost电路与定向耦合器的信号耦合关系，确定反射功率超限时适配的第一协同电压调控参数集、反射功率正常时适配的第二协同电压调控参数集； 根据所述Boost电路与反应腔体负载的阻抗匹配关系，确定负载阻抗波动时适配的第三协同电压调控参数集、负载阻抗稳定时适配的第四协同电压调控参数集； 基于功率调控指标，结合第一协同电压调控参数集、第二协同电压调控参数集、第三协同电压调控参数集、第四协同电压调控参数集对功率调控网络的初始输入电压进行在线修正，确定自适应电压调控参数组合； 其中，基于功率调控指标，结合第一协同电压调控参数集、第二协同电压调控参数集、第三协同电压调控参数集、第四协同电压调控参数集对所述功率调控网络的初始输入电压进行在线修正，确定自适应电压调控参数组合，包括： 将所述第一协同电压调控参数集、第二协同电压调控参数集、第三协同电压调控参数集、第四协同电压调控参数集作为决策变量，分析对所述功率调控指标的影响权重； 通过所述影响权重，配置多目标优化指数，以最小化电压调整幅度和最大化反射功率抑制率为目标，不断迭代更新决策变量，确定所述初始输入电压对应的最优修正系数及修正时序； 基于所述最优修正系数及修正时序对所述初始输入电压进行动态校准，输出满足功率调控指标的自适应电压调控参数组合。

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