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吉林大学王琛获国家专利权

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龙图腾网获悉吉林大学申请的专利一种三维垂直集成气体传感器及其制造方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121253614B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511811436.3,技术领域涉及:G01N27/12;该发明授权一种三维垂直集成气体传感器及其制造方法和应用是由王琛;王同超;卢革宇设计研发完成,并于2025-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

一种三维垂直集成气体传感器及其制造方法和应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种三维垂直集成气体传感器及其制造方法和应用,其属于气体检测技术领域,其中,该三维垂直集成气体传感器包括:有序多孔薄膜衬底,其内部具有垂直贯通的孔道阵列;催化过滤层,形成于所述有序多孔薄膜衬底的孔道内壁上;传感材料层,形成于所述有序多孔薄膜衬底的底部;叉指电极,设置于所述传感材料层的底部;微加热器,设置于所述有序多孔薄膜衬底的顶部;物理过滤层,设置于所述微加热器的上方;气密微腔,设置于所述叉指电极下方。本发明通过催化过滤分离‑传感器的一体化架构,实现了单一气体传感器选择性的突破,可应用与室内外易燃易爆气体检测、呼气中疾病标志物检测、环境有毒有害气体检测等重要领域。

本发明授权一种三维垂直集成气体传感器及其制造方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种三维垂直集成气体传感器,其特征在于,包括: 有序多孔薄膜衬底,其内部具有垂直贯通的孔道阵列; 催化过滤层,形成于所述有序多孔薄膜衬底的孔道内壁上; 传感材料层,形成于所述有序多孔薄膜衬底的底部; 叉指电极,设置于所述传感材料层的底部,用作为传感信号电极; 微加热器,设置于所述有序多孔薄膜衬底的顶部; 物理过滤层,设置于所述微加热器的上方; 气密微腔,设置于所述叉指电极下方,用于容纳所述传感材料层并限定检测空间; 所述催化过滤层覆盖所述有序多孔薄膜衬底的孔道内壁的预设区段,且不贯通孔底;所述催化过滤层所采用的催化材料为第一金属氧化物和或贵金属; 所述第一金属氧化物为SnO2、NiO和ZnO中的至少一种;所述贵金属为Pt、Au和Pd中的至少一种; 所述传感材料层所采用的传感材料为第二金属氧化物,厚度为10-200nm; 所述第二金属氧化物为SnO2、In2O3和ZnO中的至少一种; 所述物理过滤层所采用的过滤材料为MOF分子筛; 所述有序多孔薄膜衬底的材料为阳极氧化铝、SiO2和聚酰亚胺中的任一种,其孔道的直径为50nm-10μm。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人吉林大学,其通讯地址为:130012 吉林省长春市朝阳区前进大街2699号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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