内蒙古亨芯石英有限公司;江苏亨芯石英科技有限公司王玉财获国家专利权
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龙图腾网获悉内蒙古亨芯石英有限公司;江苏亨芯石英科技有限公司申请的专利一种CVD法制备多孔不透明高纯石英的装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121342322B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511940215.6，技术领域涉及：C03B20/00；该发明授权一种CVD法制备多孔不透明高纯石英的装置及方法是由王玉财;肖华;王俊;钟媛;王岩松;吾育培;李旭伟;马新星;李岳;冯慧设计研发完成，并于2025-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CVD法制备多孔不透明高纯石英的装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种CVD法制备多孔不透明高纯石英的装置及方法，包括反应炉，安装在反应炉顶端的燃烧器，以及位于燃烧器下方顺序连接的石英基板、引杆和驱动机构；燃烧器包括由中心轴向外依次设置的内屏蔽层、内氧层和氢气层，内屏蔽层用于通入保护气体，内氧层用于通入氧气，氢气层用于通入氢气；内屏蔽层内设置位于中心轴的中心层以及环绕在中心层外的原料层，中心层用于通入硅烷造孔剂，原料层用于通入硅源；氢气层内设置环氧层，环氧层用于通入氧气。本发明设置多层结构的燃烧器，引入硅烷造孔剂，并通过优化造孔剂、硅源、保护气体的通入位置，实现多孔高纯石英的制备，解决了孔隙率可控性差、纯度易受杂质影响的问题。
本发明授权一种CVD法制备多孔不透明高纯石英的装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种CVD法制备多孔不透明高纯石英的装置，其特征在于，包括反应炉，安装在所述反应炉顶端的燃烧器，以及位于燃烧器下方顺序连接的石英基板、引杆和驱动机构； 所述燃烧器包括由中心轴向外依次设置的内屏蔽层、内氧层和氢气层，其中，所述内屏蔽层用于通入保护气体，所述内氧层用于通入氧气，所述氢气层用于通入氢气； 所述内屏蔽层内设置位于中心轴的中心层以及环绕在中心层外的原料层，其中，所述中心层用于通入硅烷造孔剂，所述原料层用于通入硅源； 所述氢气层内设置环氧层，所述环氧层用于通入氧气。
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