中国科学院理化技术研究所高建业获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院理化技术研究所申请的专利EUV光源生成装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223993043U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520695801.8，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型EUV光源生成装置是由高建业;邓中山;刘静设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本EUV光源生成装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及等离子体技术领域，提供一种EUV光源生成装置，包括真空腔体，用于维持真空环境；液态金属喷雾生成装置，内置常温液态金属合金，所述液态金属喷雾生成装置用于向所述真空腔体喷入液态金属液滴；微波发射器，用于向所述真空腔体施加微波场使液态金属液滴产生等离子体；光谱过滤模块，用于提取所述等离子体辐射的极紫外波段光。本实用新型提供的EUV光源生成装置，将液态金属喷雾技术与微波等离子体激光结合，突破传统EUV光源依赖激光或放电的路径依赖，用常温液态金属合金替代固态锡靶或氙气，解决传统技术中靶材输运、熔化能耗高的问题，利用微波非接触式能量传递，避免激光系统的高成本或放电电极的烧蚀问题。
本实用新型EUV光源生成装置在权利要求书中公布了：1.一种EUV光源生成装置，其特征在于，包括： 真空腔体1，用于维持真空环境； 液态金属喷雾生成装置2，内置常温液态金属合金，所述液态金属喷雾生成装置用于向所述真空腔体1喷入液态金属液滴； 微波发射器3，用于向所述真空腔体1施加微波场使液态金属液滴产生等离子体； 光谱过滤模块4，用于提取所述等离子体辐射的极紫外波段光。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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