芯恩(青岛)集成电路有限公司马明德获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置及化学机械研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223993867U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520478003.X，技术领域涉及：H10P70/00；该实用新型一种晶圆清洗装置及化学机械研磨设备是由马明德设计研发完成，并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗装置及化学机械研磨设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆清洗装置及化学机械研磨设备，其中晶圆清洗装置包括清洗腔；基座，设于所述清洗腔内，用于固定晶圆并带动所述晶圆转动；接触件，设于所述基座上，所述接触件用于与所述晶圆的侧壁接触；清洗机构，设于所述清洗腔内，所述清洗机构包括机械臂和清洗头，所述机械臂用于控制所述清洗头对所述晶圆的表面进行清洗，直至所述清洗头从所述晶圆的表面移动至所述接触件上。本实用新型提供的晶圆清洗装置机械臂可带动清洗头从晶圆中心移动至晶圆边缘时，继续向外移动至接触件的顶面，完成清洗路径的过渡，避免清洗头对晶圆表面清洗时，部分污染物残留在晶圆的边缘和侧壁，以提高对研磨后晶圆清洗的可靠性。
本实用新型一种晶圆清洗装置及化学机械研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，用于对研磨后的晶圆表面进行清洗，其特征在于，包括： 清洗腔； 基座，设于所述清洗腔内，用于固定晶圆并带动所述晶圆转动； 接触件，设于所述基座上，所述接触件用于与所述晶圆的侧壁接触； 清洗机构，设于所述清洗腔内，所述清洗机构包括机械臂和清洗头，所述机械臂用于控制所述清洗头对所述晶圆的表面进行清洗，直至所述清洗头从所述晶圆的表面移动至所述接触件上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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