山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司段文瑶获国家专利权
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龙图腾网获悉山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司申请的专利一种薄片晶圆自动化剥离装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223993875U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520599238.4，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种薄片晶圆自动化剥离装置是由段文瑶;赵江伟;马晓晨设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种薄片晶圆自动化剥离装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种薄片晶圆自动化剥离装置，包括支架主体、平边刀头、羊角刀头，其中，支架主体依靠后置伸缩电缸作为动力源实现整体位移，平边刀头可拆卸地安装于设置在支架主体前端的前端固定板；支架主体内部配置有导向槽和内置伸缩电缸，内置伸缩电缸的活塞杆延伸至导向槽，并与设置于导向槽内的内置固定板形成联动机构；所述羊角刀头可拆卸地安装于该内置固定板；在支架主体底部开设有从支架主体前端延伸至后端的槽口，冲水喷头安装于支架主体前端槽口处并位于刀头下方；在支架主体后端槽口处设有用于连接水管的方形槽孔，在该槽孔配置有流量控制阀门。本实用新型能够解决薄片晶圆剥离过程中的损伤和碎裂问题，提高剥离效率和成品率。
本实用新型一种薄片晶圆自动化剥离装置在权利要求书中公布了：1.一种薄片晶圆自动化剥离装置，其特征在于，该剥离装置包括支架主体以及设置于支架主体前端的平边刀头和羊角刀头，其中， 所述支架主体依靠后置伸缩电缸作为动力源实现支架主体的整体位移； 所述平边刀头可拆卸地安装于设置在支架主体前端的前端固定板； 所述支架主体内部配置有导向槽和内置伸缩电缸，内置伸缩电缸的活塞杆延伸至导向槽，并与设置于导向槽内的内置固定板形成联动机构；所述羊角刀头可拆卸地安装于该内置固定板； 在所述支架主体底部开设有从支架主体前端延伸至后端的槽口，冲水喷头安装于支架主体前端槽口处并位于刀头下方；在支架主体后端槽口处设有用于连接水管的槽孔，在该槽孔配置有流量控制阀门。
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