佳能株式会社寺尾勉获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利定位装置、光刻装置和物品制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114296320B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111155239.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权定位装置、光刻装置和物品制造方法是由寺尾勉设计研发完成，并于2021-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本定位装置、光刻装置和物品制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及定位装置、光刻装置和物品制造方法。本发明提供了一种用于定位物体的定位装置，定位装置包括：第一致动器和第二致动器，配置成沿着第一方向布置成彼此平行，并且使梁在第一方向上移动；第三致动器，配置成内置在梁中，并且使物体相对于梁在第二方向上移动，第二方向与第一方向交叉；以及控制单元，配置成控制第一致动器、第二致动器和第三致动器。
本发明授权定位装置、光刻装置和物品制造方法在权利要求书中公布了：1.一种定位装置，用于定位物体，定位装置包括： 第一致动器和第二致动器，沿着第一方向布置成彼此平行，并且使梁在第一方向上移动； 第三致动器，设置在梁中，并且配置成使物体相对于梁在第二方向上移动，第二方向与第一方向交叉；以及 控制单元，配置成控制第一致动器、第二致动器和第三致动器； 其中，控制单元： 从要施加到第三致动器以便在第二方向上将物体移动到第一目标位置的第一操作量来获得分别要施加到第一致动器和第二致动器以便减少因物体移动到第一目标位置而导致在梁中发生的旋转的各个不同的第一修正操作量； 将第一操作量施加到第三致动器； 将各个不同的第一修正操作量分别施加到第一致动器和第二致动器； 对第一致动器和第二致动器执行前馈控制； 包括带通滤波器，带通滤波器从第一操作量提取与旋转的主成分相对应的特定频率并且输出特定频率；并且 从带通滤波器的输出获得各个不同的第一修正操作量。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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