东京毅力科创株式会社彼得·文特泽克获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利包括多个电子源的等离子体加工装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114730687B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080078614.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权包括多个电子源的等离子体加工装置是由彼得·文特泽克;巴顿·莱恩;陈志英;阿洛科·兰詹设计研发完成，并于2020-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本包括多个电子源的等离子体加工装置在说明书摘要公布了：一种等离子体加工装置包括：加工室；衬底，其设置在该加工室中；以及多个电子源，其被配置成向在该加工室中产生的等离子体供应电子。该多个电子源中的每一个电子源包括面对该加工室中的等离子体的第一侧。该多个电子源中的每一个电子源还包括设置在该第一侧处并且被配置成保持处于负直流偏压的谐振结构。
本发明授权包括多个电子源的等离子体加工装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体加工装置，包括： 加工室； 衬底，该衬底设置在该加工室中；以及 多个电子源，该多个电子源被配置成向在该加工室中产生的等离子体供应电子，其中，该多个电子源中的每一个电子源包括 第一侧，该第一侧面对该加工室中的等离子体，以及 谐振结构，该谐振结构设置在该第一侧处并且被配置成保持处于负直流DC偏压，并且 其中，每一个谐振结构包括被配置成产生相应的电子源等离子体的谐振天线，该电子源等离子体供应通过相应的负DC偏压而加速朝向该加工室中的等离子体的电子。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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