ASML荷兰有限公司M·G·J·M·玛森获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利具有多模态操作的多射束检查系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114868222B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080088268.9，技术领域涉及：H01J37/04；该发明授权具有多模态操作的多射束检查系统是由M·G·J·M·玛森设计研发完成，并于2020-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有多模态操作的多射束检查系统在说明书摘要公布了：公开了用于多射束检查系统的多模态操作的装置、系统和方法。一种用于生成多模态束波的装置可以包括孔径阵列，该孔径阵列包括具有第一尺寸的第一孔径组和具有不同于第一尺寸的第二尺寸的第二孔径组，第二孔径组与第一孔径组邻接，其中第一孔径组和第二孔径组处于不同的通过状态或阻挡状态。一种能够进行多模态检查操作的多射束装置可以包括上述装置、被配置为发射带电粒子的源、被配置为设置带电粒子的投影区域的聚光系统、以及用于控制第一孔径组和第二孔径组的电路系统。
本发明授权具有多模态操作的多射束检查系统在权利要求书中公布了：1.一种多射束检查系统，包括： 孔径阵列，包括： 第一孔径组，具有第一尺寸；以及 第二孔径组，具有与所述第一尺寸不同的第二尺寸；以及其中所述第一孔径组中的孔径被独立地和单独地控制以处于通过状态或阻挡状态，以及所述第二孔径组中的孔径被独立地和单独地控制以处于通过状态或阻挡状态，使得所述第一孔径组和所述第二孔径组被配置为在不同的所述通过状态或所述阻挡状态下操作，使得所述第一孔径组和所述第二孔径组中的一者处于所述通过状态下以使得射束能够从其穿过，并且所述第一孔径组和所述第二孔径组中的另一者处于所述阻挡状态下以阻挡所述射束从其穿过。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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