株式会社斯库林集团高桥朋宏获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置以及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114902380B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080089352.2，技术领域涉及：H10P50/60；该发明授权基板处理装置以及基板处理方法是由高桥朋宏;岸田拓也;折坂昌幸;武知圭设计研发完成，并于2020-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置以及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明具备处理液喷出部和气泡供给部，处理液喷出部设于基板保持部所保持的基板的下方侧，从处理液喷出口朝向贮存空间的内底面喷出处理液，气泡供给部设于基板保持部所保持的基板的下方侧而且设于处理液喷出口的上方侧，将气泡供给至贮存空间所贮存的处理液，在铅垂方向上的气泡供给部与处理液喷出口之间，将经过贮存空间的内底面而流向上方的处理液的至少一部分作为分流对象液，将分流对象液的流动分流为多个上升流并将其引导至基板保持部所保持的基板。
本发明授权基板处理装置以及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备： 处理槽，其具有贮存处理液的贮存空间，一边使上述处理液从上述贮存空间的上方开口溢流一边将基板浸渍在上述贮存空间所贮存的上述处理液中，从而对上述基板进行处理； 基板保持部，其在上述贮存空间内以立起姿势保持上述基板； 处理液喷出部，其在上述基板保持部所保持的上述基板的下方侧具有喷出上述处理液的处理液喷出口，且使从上述处理液喷出口喷出的上述处理液朝向上述处理槽的内底面流动；以及 气泡供给部，其设于上述基板保持部所保持的上述基板的下方侧而且设于上述处理液喷出口的上方侧，将气泡供给至上述贮存空间所贮存的上述处理液， 上述处理液喷出口以与上述处理槽的内底面对置的方式朝向下方设置， 在铅垂方向上的上述气泡供给部与上述处理槽的内底面之间，将经过上述处理槽的内底面而流向上方的上述处理液的至少一部分作为分流对象液，将上述分流对象液的流动以与上述处理槽的内底面对置的方式分流为多个上升流并引导至上述基板保持部所保持的上述基板。
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