极光先进雷射株式会社五十岚豊获国家专利权
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龙图腾网获悉极光先进雷射株式会社申请的专利信息处理装置、信息处理方法和半导体制造系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114930254B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080091680.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权信息处理装置、信息处理方法和半导体制造系统是由五十岚豊;菊池悟;阿部邦彦;峰岸裕司设计研发完成，并于2020-02-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本信息处理装置、信息处理方法和半导体制造系统在说明书摘要公布了：本公开的一个观点的信息处理装置具有处理器和存储装置，处理器取得从光源装置和曝光装置各装置提供的每个参数的数据和与数据相关联的时刻数据，该光源装置生成脉冲光，该曝光装置通过从光源装置输出的脉冲光对晶片进行曝光，根据取得的数据和时刻数据，按照与相同的时刻数据相关联的数据的每个记录，进行区分是脉冲光被照射到晶片的曝光时的数据、还是曝光时以外的非曝光时的数据的分类，将与分类对应的属性信息关联起来，使存储装置存储与属性信息相关联的数据和时刻数据，使用从存储装置读出的数据生成图表。
本发明授权信息处理装置、信息处理方法和半导体制造系统在权利要求书中公布了：1.一种信息处理装置，其具有处理器和存储装置，其中， 所述处理器取得从光源装置和曝光装置各装置提供的每个参数的数据和与所述数据相关联的时刻数据，该光源装置生成脉冲光，该曝光装置通过从所述光源装置通过突发运转输出的所述脉冲光对晶片进行曝光， 所述处理器根据取得的所述数据和所述时刻数据，按照与相同的时刻数据相关联的所述数据的每个记录，进行区分是所述脉冲光被照射到所述晶片的曝光时的数据、还是所述曝光时以外的非曝光时中的调整振荡时的数据的分类，将表示与所述分类对应的属性的属性信息与所述记录分别关联起来， 所述处理器使所述存储装置存储与所述属性信息相关联的所述数据和所述时刻数据， 所述处理器使用从所述存储装置读出的数据，生成所述曝光时的数据的第1图表，并生成将基于第1突发运转的第1调整振荡时的数据、基于第2突发运转的第2调整振荡时的数据合起来的第2图表， 所述处理器根据所述时刻数据生成按照时间序列排列有所述记录的表， 所述第1图表和所述第2图表包括所述参数中的相同参数。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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