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龙图腾网获悉住友化学株式会社申请的专利树脂、抗蚀剂组合物和抗蚀图案的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114995059B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210663127.6，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权树脂、抗蚀剂组合物和抗蚀图案的制造方法是由杉原昌子;西村崇设计研发完成，并于2016-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本树脂、抗蚀剂组合物和抗蚀图案的制造方法在说明书摘要公布了：本发明的课题涉及提供一种可以制造形状良好并且抗裂性良好的抗蚀剂图案的抗蚀剂组合物的目的。其解決手段为抗蚀剂组合物，其含有：具有对酸不稳定基团的树脂、含有式I所示的结构单元的树脂、产酸剂和溶剂。[式中、Ri41为氢原子或甲基；Ri42为碳原子数2～7的酰基或氢原子、可被羟基取代的碳原子数1～10的烃基；Ri43为碳原子数1～6的烷基或碳原子数1～6的烷氧基；p为0～4的整数；Z表示含有式Ia所示的基团的碳原子数3～20的2价烃基，该烃基的亚甲基可替换为氧原子、硫原子、羰基。＊为与氧原子的键合位点；w和r各自独立地表示1～10的整数，其中，w为1时，Ri42为碳原子数2～7的酰基。]

本发明授权树脂、抗蚀剂组合物和抗蚀图案的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种抗蚀剂组合物，其含有：具有对酸不稳定基团的树脂、含有式I所示的结构单元和式a2－1所示的结构单元的树脂、碱溶性树脂、产酸剂、附着力促进剂和溶剂；所述对酸不稳定基团为式1所示的基团或式2所示的基团， 式1中，Ra1、Ra2和Ra3各自独立地表示碳原子数1～8的烷基或碳原子数3～20的脂环式烃基，或者Ra1和Ra2相互键合表示碳原子数2～20的2价烃基，Ra3表示碳原子数1～8的烷基或碳原子数3～20的脂环式烃基，*表示键合位点， 式2中，Ra1’和Ra2’各自独立地表示氢原子或碳原子数1～12的烃基，Ra3’表示碳原子数1～20的烃基，或者Ra1’表示氢原子或碳原子数1～12的烃基，Ra2’和Ra3’相互键合表示碳原子数2～20的2价杂环基，该烃基和该2价杂环基所含的亚甲基可替换为氧原子或硫原子，*表示键合位点， 式I中， Ri41表示氢原子或甲基； Ri42表示可被羟基取代的碳原子数1～10的烃基、碳原子数2～7的酰基或氢原子； Ri43表示碳原子数1～6的烷基或碳原子数1～6的烷氧基； p表示0； Z表示含有式Ia所示的基团的碳原子数3～20的2价烃基；该烃基所含的亚甲基可替换为氧原子、硫原子、羰基；＊表示与氧原子的键合位点； ＊－〔CH2w－O〕r－Ia 式Ia中w和r各自独立地表示2～10的整数， 式a2－1中， Ra7表示氢原子或甲基， Ra10表示碳原子数1～6的烷基或碳原子数1～6的烷氧基， m’表示0。

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