台湾积体电路制造股份有限公司廖啟宏获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利静电夹具的操作方法和静电夹具获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115050682B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110250608.X,技术领域涉及:H10P72/72;该发明授权静电夹具的操作方法和静电夹具是由廖啟宏;施柏铭设计研发完成,并于2021-03-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电夹具的操作方法和静电夹具在说明书摘要公布了:一种静电夹具的操作方法和静电夹具,静电夹具的操作方法包含:施加电压于静电夹具的电极层,电极层包含:第一电极、围绕第一电极的第二电极、围绕第二电极的第三电极、和围绕第三电极的第四电极,其中第一电极、第二电极、第三电极、和第四电极为第一极化状态;切换第二电极和第三电极的电性变为与第一极化状态相反的第二极化状态;以及切换第一电极和第四电极的电性变为与第一极化状态相反的第二极化状态。
本发明授权静电夹具的操作方法和静电夹具在权利要求书中公布了:1.一种静电夹具的操作方法,其特征在于,包含: 施加电压于静电夹具的电极层,所述电极层包含第一电极、围绕所述第一电极的第二电极、围绕所述第二电极的第三电极、和围绕所述第三电极的第四电极,其中所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极、所述第四电极为第一极化状态; 切换所述第二电极和所述第三电极的电性变为与所述第一极化状态相反的第二极化状态;以及 切换所述第一电极和所述第四电极的电性变为与所述第一极化状态相反的所述第二极化状态。
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