埃地沃兹日本有限公司榎本良弘获国家专利权
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龙图腾网获悉埃地沃兹日本有限公司申请的专利真空泵、除害装置及排出气体处理系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115053066B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180013905.0,技术领域涉及:F04B49/02;该发明授权真空泵、除害装置及排出气体处理系统是由榎本良弘设计研发完成,并于2021-02-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空泵、除害装置及排出气体处理系统在说明书摘要公布了:提供一种在对排出气体进行除害时能够实现节能化的真空泵。一种真空泵2,将排出气体吸入并排出,其特征在于,具备:作为驱动源的马达MT;以及第1控制器29,对前述马达的驱动进行控制;前述第1控制器监视前述马达的状态,并且在前述马达的状态为除了起动时及停止时以外的特定状态的情况下将特定信号工艺信号向外部输出。
本发明授权真空泵、除害装置及排出气体处理系统在权利要求书中公布了:1.一种真空泵,将排出气体吸入并排出,其特征在于, 具备: 作为驱动源的马达;以及 第1控制器,对前述马达的驱动进行控制; 前述第1控制器监视前述马达的状态,并且在前述马达的状态为除了起动时及停止时以外的特定状态的情况下将特定信号向外部输出, 前述特定状态是前述马达为通常运转中且前述马达的电流超过了规定的阈值的状态, 前述第1控制器在前述马达为通常运转中且前述马达的电流超过了前述规定的阈值的期间中,将前述特定信号向前述外部输出,从前述马达的电流成为前述规定的阈值以下到经过规定时间为止,继续前述特定信号向前述外部的输出, 前述规定时间被设定为超过到从前述真空泵排出的前述排出气体到达设置在前述真空泵的下游侧的除害装置为止的时间的时间。
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