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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置及配管装卸配件清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115132608B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210215949.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置及配管装卸配件清洗方法是由胁田明日香设计研发完成，并于2022-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置及配管装卸配件清洗方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置及配管装卸配件清洗方法。基板处理装置100具备用于处理基板W的基板处理单元10、使处理液流通至基板处理单元10的配管32、相对于配管32能够装卸的配管装卸配件140、在配管32中分别设于配管装卸配件140的上游及下游的上游侧连接部152及下游侧连接部154、以及能够与上游侧连接部152及下游侧连接部154连接的清洗单元160。清洗单元160从上游侧连接部152向配管装卸配件140供给药液，从下游侧连接部154回收药液。清洗单元160从上游侧连接部152向配管装卸配件供给清洗液，从下游侧连接部154回收清洗液。

本发明授权基板处理装置及配管装卸配件清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备： 基板处理单元，其用于处理基板； 贮存槽，其贮存处理液； 配管，其连接于上述贮存槽，且使处理液流通至上述基板处理单元； 配管装卸配件，其相对于上述配管能够装卸； 上游侧连接部，其在上述配管中设于上述配管装卸配件的上游且上述贮存槽与上述配管装卸配件之间； 下游侧连接部，其在上述配管中设于上述配管装卸配件的下游； 清洗单元，其能够与上述上游侧连接部及上述下游侧连接部连接； 喷嘴，其连接于上述配管且向上述基板处理单元吐出处理液； 上游阀，其在上述贮存槽与上述上游侧连接部之间开闭上述配管；以及 下游阀，其在上述下游侧连接部与上述喷嘴之间开闭上述配管， 上述清洗单元具备： 第一配管，其连接于上述上游侧连接部； 第二配管，其连接于上述下游侧连接部； 药液供给部，其连接于上述第一配管及上述第二配管的一方； 清洗液供给部，其连接于上述第一配管及上述第二配管的一方；以及 泵，其连接于上述第一配管及上述第二配管的一方， 上述上游侧连接部具有与上述配管连接且位于上述配管的上游侧的开口、与上述配管连接且位于上述配管的下游侧的开口以及与上述第一配管连接的开口， 上述下游侧连接部具有与上述配管连接且位于上述配管的上游侧的开口、与上述配管连接且位于上述配管的下游侧的开口以及与上述第二配管连接的开口， 就上述清洗单元而言， 从上述上游侧连接部及上述下游侧连接部中的一方向上述配管装卸配件供给药液，从上述上游侧连接部及上述下游侧连接部中的另一方回收上述药液，而且， 从上述上游侧连接部及上述下游侧连接部中的一方向上述配管装卸配件供给清洗液，从上述上游侧连接部及上述下游侧连接部中的另一方回收上述清洗液。

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