浙江师范大学罗丝获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江师范大学申请的专利基于光纤端面表面等离激元共振的甲烷传感结构及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115326760B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211109128.2,技术领域涉及:G01N21/59;该发明授权基于光纤端面表面等离激元共振的甲烷传感结构及系统是由罗丝;周如军;陈达如设计研发完成,并于2022-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于光纤端面表面等离激元共振的甲烷传感结构及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于光纤端面表面等离激元共振的甲烷传感结构及系统。本发明中的甲烷传感结构,是在光纤端面溅射有一层金薄膜层,所述金薄膜层上刻蚀有圆形孔阵列结构,在所述金薄膜层上还旋涂有甲烷气敏膜。超连续激光光源发出的光经过光纤准直器后传输到光纤端面,在介质和金属膜交界面上产生表面等离激元共振;当环境中甲烷气体浓度变化时,甲烷气敏膜的折射率随着甲烷气体浓度的改变而改变,所产生的表面等离激元共振谐振峰因折射率的变化发生移动,通过光纤耦合器用光谱分析仪采集反射回来的光信号,进行光谱分析及计算,实现对环境中甲烷气体浓度的准确测量。本发明拓展了气体传感测量的方式,对光纤制备要求低,对光纤选取的通用性强。
本发明授权基于光纤端面表面等离激元共振的甲烷传感结构及系统在权利要求书中公布了:1.基于光纤端面表面等离激元共振的甲烷传感结构,其特征在于,在光纤端面溅射有一层金薄膜层,所述金薄膜层上刻蚀有圆形孔阵列结构,在所述金薄膜层上还旋涂有甲烷气敏膜,其厚度为900nm; 所述圆形孔阵列结构中的任一一个单元由五个圆孔组成,其中一个为中心圆孔,另外四个围绕该中心圆孔呈对称分布,所有圆孔半径均为160nm,结构的分布周期为1100nm; 所述甲烷气敏膜在折射率为1.425到1.448范围内,所述甲烷传感结构存在着三个谐振模式,即其存在三个甲烷气体探测灵敏度; 所述的对称分布为十字对称分布。
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