魅杰光电科技(上海)有限公司汤庚获国家专利权
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龙图腾网获悉魅杰光电科技(上海)有限公司申请的专利光源调节设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115390344B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211049643.6,技术领域涉及:G03B15/06;该发明授权光源调节设备是由汤庚;郑希特设计研发完成,并于2022-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本光源调节设备在说明书摘要公布了:光源调节设备,包括:箱体;光纤连接模块,设于所述箱体的一侧,与所述箱体固定连接,包括:光纤接口,适于光纤的固定与连接;光源模块,位于所述箱体内部且与所述光纤接口相对设置,包括:光源,适于提供照明;光反射部件,设置于所述光源后侧,适于使所述光源散发出的光线在所述光纤接口处聚焦。上述光源调节设备能够提高晶圆检测时光的均匀性。
本发明授权光源调节设备在权利要求书中公布了:1.一种光源调节设备,其特征在于,应用于晶圆表面检测,所述光源调节设备包括: 箱体; 光纤连接模块,设于所述箱体的一侧,与所述箱体固定连接,包括:光纤接口,适于光纤的固定与连接; 光源模块,位于所述箱体内部且与所述光纤接口相对设置,包括:光源,适于提供照明;光反射部件,设置于所述光源后侧,适于使所述光源散发出的光线在所述光纤接口处聚焦;所述光反射部件包括:反射镜,所述反射镜的内表面设有冷光束涂层; 电压控制模块,一端连接外部交流电源,一端与所述光源模块耦接,适于对外部输入的电源信号进行处理,其中,所述电压控制模块包括:滤波单元、整流单元、变压单元、电压输出单元、电压控制单元和开关单元,其中: 所述滤波单元,适于滤去输入的电源信号中的纹波信号; 所述整流单元,分别与所述滤波单元和所述变压单元耦接,适于对经所述滤波单元处理后的电源信号进行整流,得到对应的直流电压信号; 所述变压单元,与所述电压输出单元耦接,适于改变直流电压信号的电压值,并对所述电压输出单元进行充电; 所述电压输出单元,与所述光源模块耦接,适于输出所述电压值至所述光源模块; 所述电压控制单元,分别与所述电压输出单元和所述开关单元耦接,所述电压控制单元包括基准电压端口、电压反馈端口和电流反馈端口,所述电压控制单元在电压反馈端口接收到的电压值与基准电压端口预先设置的电压值不同时,输出相应的电压控制信号至所述开关单元; 所述开关单元,与所述变压单元耦接,包括开关器件,以及分别与所述开关器件和第二电阻耦接的第三电阻,所述开关器件在所述电压控制信号的作用下进行开合,周期性的开合,以控制所述变压单元对所述电压输出单元的充电速度; 在所述开关器件处于导通状态时,所述电压控制单元根据采集到所述第三电阻的电流值,调整所述电压控制信号的脉冲宽度,降低所述电压输出单元产生的电流值。
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