纳努森有限公司何塞普·蒙塔尼亚·西尔韦斯特雷获国家专利权
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龙图腾网获悉纳努森有限公司申请的专利使用固态半导体工艺的BEOL金属层构建的MEMS装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115397766B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180008911.7，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权使用固态半导体工艺的BEOL金属层构建的MEMS装置是由何塞普·蒙塔尼亚·西尔韦斯特雷设计研发完成，并于2021-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用固态半导体工艺的BEOL金属层构建的MEMS装置在说明书摘要公布了：一种使用CMOS工艺的BEOL的材料形成的MEMS装置，其中应用vHF和后背衬的后处理来形成该MEMS装置，并且其中该MEMS装置的总尺寸在50μm和150μm之间。在其他应用中，MEMS装置可以被实现为惯性传感器。
本发明授权使用固态半导体工艺的BEOL金属层构建的MEMS装置在权利要求书中公布了：1.一种使用CMOS工艺的后道工序的材料形成的MEMS装置，其中： 应用vHF和后背衬的后处理来形成所述MEMS装置，以及 所述MEMS装置的总尺寸在50μm和150μm之间； 所述MEMS装置还包括一组至少三个弹簧，所述弹簧围绕所述MEMS装置均匀分布并围绕所述MEMS装置的中心轴线旋转； 其中，所述装置的形状是圆润的，并且所述弹簧为螺旋形状。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人纳努森有限公司，其通讯地址为：西班牙塞丹约拉德尔瓦勒；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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