青岛歌尔智能传感器有限公司朱恩成获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛歌尔智能传感器有限公司申请的专利一种差分电容式MEMS压力传感器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115452207B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211035642.6，技术领域涉及：G01L1/14；该发明授权一种差分电容式MEMS压力传感器及其制造方法是由朱恩成设计研发完成，并于2022-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种差分电容式MEMS压力传感器及其制造方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种差分电容式MEMS压力传感器及其制造方法。该压力传感器包括:可动电极，所述可动电极包括第一上电极和第二上电极，所述第一上电极和所述第二上电极为一体结构，所述可动电极与所述支撑体的另一端连接，以使所述第一上电极位于所述第一下电极的上方，并形成第一腔体，所述第一上电极与所述衬底之间具有间隙，所述第一上电极和所述第一下电极构成第一电容器；所述第二上电极位于所述第二下电极的上方，并形成第二腔体，所述第二腔体为密闭腔体，所述第二上电极和所述第二下电极构成第二电容器；在施加压力载荷的条件下，所述第一上电极和所述第二上电极的运动方向相反。
本发明授权一种差分电容式MEMS压力传感器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种差分电容式MEMS压力传感器的制造方法，其特征在于，包括如下步骤： 提供衬底，在所述衬底上刻蚀形成第一容纳腔； 在所述第一容纳腔的底部沉积并刻蚀第一金属层,形成相互独立的第一下电极和第二下电极； 在所述第一下电极和所述第二下电极之间沉积并刻蚀第二氧化层，形成支撑体，所述支撑体将所述第一容纳腔分隔为第二容纳腔和第三容纳腔； 在所述第二容纳腔和所述第三容纳腔内沉积牺牲层； 在所述牺牲层上沉积并刻蚀第三氧化层,形成第一上电极和第二上电极； 释放牺牲层，以使所述第一上电极位于所述第一下电极的上方，并形成第一腔体，所述第一上电极与所述衬底之间具有间隙，所述第一上电极和所述第一下电极构成第一电容器；以及 所述第二上电极位于所述第二下电极的上方，并形成第二腔体，所述第二腔体为密闭腔体，所述第二上电极和所述第二下电极构成第二电容器。
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