应用材料公司丛者澎获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利利用带隙吸收法的温度校正获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115516614B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180030384.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权利用带隙吸收法的温度校正是由丛者澎;舒伯特·S·楚;N·O·谬设计研发完成，并于2021-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本利用带隙吸收法的温度校正在说明书摘要公布了：本文描述了一种用于校正处理腔室内的非接触式温度传感器的方法及装置。非接触式温度传感器的校正包括利用带边检测器来确定基板的带边吸收波长。带边检测器被配置为测量波长范围的强度，并基于基板的带边吸收波长及材料确定基板的实际温度。该校正方法是自动化的，且每次校正时无需人为干预或拆卸处理腔室。
本发明授权利用带隙吸收法的温度校正在权利要求书中公布了：1.一种用于校正处理腔室内的至少一个高温计的测量组件，包含： 带边校正组件，包含： 光源，所述光源定位为发射光；及 带边检测器，所述带边检测器邻近所述光源设置且定位为接收由所述光源发射的并且从设置在所述光的光路中的校正基板反射的所述光； 第一高温计，所述第一高温计邻近所述带边校正组件设置且定位为接收辐射；及 控制器，所述控制器被配置为： 根据由所述带边检测器接收的所述光确定带边吸收波长，其中所述带边吸收波长是所述校正基板从吸收所述光源发射的所述光的辐射转变为反射所述光的辐射的转变波长； 使用测量的所述带边吸收波长确定所述校正基板的实际温度； 基于所述第一高温计的接收的所述辐射确定所述校正基板的第一测量温度；及 通过比较所述第一测量温度及所述实际温度来校正所述第一高温计。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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