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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利光学测量组件、对准测量装置及对准测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115542673B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110736696.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光学测量组件、对准测量装置及对准测量方法是由陈跃飞;徐兵设计研发完成，并于2021-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本光学测量组件、对准测量装置及对准测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光学测量组件、对准测量装置及对准测量方法，包括：工件台，用于承载待测基板；焦面测量模块，包括第一光源、投影光栅及第一摄像机，所述第一光源发出的光束透过所述投影光栅分散成至少三个子光束，所述子光束入射至一待测基板上，至少部分的所述子光束被所述待测基板反射后形成第一检测光，所述第一检测光入射至所述第一摄像机中；对准测量模块，包括第二光源、第一分束棱镜及第二摄像机，所述第二光源发出的光束入射至所述第一分束棱镜，被所述第一分束棱镜反射至所述对准标记上，并被所述对准标记反射后形成第二检测光；工件台驱动模块，调节所述工件台的垂向位置。本发明提高了测量工艺适应性及测量稳定性。

本发明授权光学测量组件、对准测量装置及对准测量方法在权利要求书中公布了：1.一种光学测量组件，其特征在于，包括： 工件台，用于承载待测基板，所述工件台上设有基准版，所述待测基板和所述基准版上分别设有若干第一对准标记和第二对准标记； 焦面测量模块，用于测量所述待测基板上表面的位姿，包括第一光源、投影光栅及第一摄像机，所述投影光栅上设置有至少三个通光孔，所述第一光源发出的光束透过所述投影光栅的通光孔后分散成至少三个子光束，所述子光束入射至所述待测基板上且每个所述子光束与所述待测基板的法线的夹角均大于45度，至少部分的所述子光束被所述待测基板反射后形成第一检测光，所述第一检测光入射至所述第一摄像机中； 对准测量模块，包括第二光源、第一分束棱镜及对准摄像机组，所述第二光源发出的光束入射至所述第一分束棱镜，被所述第一分束棱镜反射至所述第一对准标记或所述第二对准标记上，并被所述第一对准标记或所述第二对准标记反射后形成第二检测光，所述第二检测光透过所述第一分束棱镜并入射至所述对准摄像机组中，所述对准摄像机组包括第二摄像机和至少一个第三摄像机，所述第二摄像机与所述第三摄像机的视场大小不同； 工件台驱动模块，将所述待测基板处于任一垂向位置时所述焦面测量模块测量得到的测量结果与所述基准版处于最佳垂向位置时所述焦面测量模块测量得到的测量结果进行对比得到差值，根据所述差值调节所述工件台的垂向位置，其中所述最佳垂向位置为所述第二对准标记处于所述对准摄像机组的测量最佳焦面时的垂向位置。

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