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龙图腾网获悉中北大学申请的专利一种基于双弹光级联差频调制的全范围椭偏测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115575329B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211180170.3，技术领域涉及：G01N21/21；该发明授权一种基于双弹光级联差频调制的全范围椭偏测量装置是由李克武;王志斌;王爽;张敏娟;张瑞;景宁;薛鹏;薛锐设计研发完成，并于2022-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于双弹光级联差频调制的全范围椭偏测量装置在说明书摘要公布了：本发明属于全范围椭偏测量装置技术领域，具体涉及一种基于双弹光级联差频调制的全范围椭偏测量装置，包括检测光源、起偏器、第一弹光调制器、样品、第二弹光调制器、检偏器、光电探测器，所述检测光源的光路方向上依次设置有起偏器、第一弹光调制器、样品，所述样品的反射光路上依次设置有第二弹光调制器、检偏器、光电探测器。本发明利用弹光调制器的调制频率高、调制纯度大、通光光谱范围宽和视场角大等优势，选用两个调制频率不一致的弹光调制器联合使用，构建双弹光级联差频调制，基于该调制技术能够实现出射光全部4个Stokes矢量测量，进而能够实现椭偏参量全范围测量。

本发明授权一种基于双弹光级联差频调制的全范围椭偏测量装置在权利要求书中公布了：1.一种基于双弹光级联差频调制的全范围椭偏测量装置的数据解调方法,其特征在于,包括下列步骤: S1、采用Stokes矢量描述光信号,采用Muller矩阵描述装置中元器件和待测样品的偏振传输特性,描述为: 其中,表示入射光的Stokes矢量,描述为,其中为入射光的总光强,第一弹光调制器和第二弹光调制器的Muller矩阵分别采用MPEM1和MPEM2表示; S2、根据偏振传输特性分析计算出出射光的Stokes矢量,并且出射光的Stokes矢量的第一个分量表示出射光光强,即光电探测器能够测试获得的光强,描述为: 其中,和是第一弹光调制器和第二弹光调制器的相位调制,和分别表示第一弹光调制器和第二弹光调制器的相位调制幅值,和,其中和分别表示第一弹光调制器和第二弹光调制器的频率;Ψ和Δ表示椭偏参量,Ψ为经样品反射或透射后检测光的p和s偏振光分量的幅值比,取值范围为0-90°;Δ为p和s偏振光的相位差,取值范围为-180°-180°; S3、两个级联的弹光调制器的调制项和采用第一类贝塞尔函数展开; S4、经第一弹光调制器和第二弹光调制器级联差频调制的分析装置出射光强,样品椭偏参量被加载到差频调制光信号中,调制光信号被光电探测器探测,经第三数据采集单元转换输入核心FPGA单元中,采用数字锁相数据处理,同步完成多个通道信号的幅值提取; S5、通过差频信号和和频信号的比值,结合贝塞尔级数实时完成第一弹光调制器和第二弹光调制器相位幅值定标; S6、利用薄膜样品椭偏参量相关项加载的频率信号幅值,定义比值和; 利用样品椭偏参量相关项加载的频率信号幅值求解获得比值和,能够完成椭偏参量Ψ和Δ求解; 利用、和三个椭偏参量相关项的同时测量,从而实现椭偏参量Ψ在0-90°,椭偏参量Δ在-180°-180°的全范围测量; 所述基于双弹光级联差频调制的全范围椭偏测量装置,包括检测光源1、起偏器2、第一弹光调制器3、样品4、第二弹光调制器5、检偏器6、光电探测器7,所述检测光源1的光路方向上依次设置有起偏器2、第一弹光调制器3、样品4,所述样品4的反射光路上依次设置有第二弹光调制器5、检偏器6、光电探测器7。

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