拓荆科技股份有限公司张俊生获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利一种晶圆的升降装置及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115632027B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211330014.0，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权一种晶圆的升降装置及半导体设备是由张俊生设计研发完成，并于2022-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆的升降装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆的升降装置及半导体设备，该升降装置包括：基座盘，基座盘上穿设有多个升降销，升降销用于支撑并带动其顶部的晶圆进行升降，基座盘底部设有支撑部以支撑基座盘；卡位环，卡位环套设于基座盘的支撑部上，卡位环与基座盘的相对位置固定以使得基座盘升降时带动卡位环一起升降；以及多个杠杆，每个杠杆的一端卡接固定于卡位环上，另一端与该杠杆相对应的升降销底部的连接座接触连接，以使基座盘及卡位环发生升降时，杠杆转动以带动升降销发生与卡位环反向的升降，进而带动升降销顶部的晶圆升降。
本发明授权一种晶圆的升降装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的升降装置，包括： 基座盘，所述基座盘上穿设有多个升降销，所述升降销用于支撑并带动其顶部的晶圆进行升降，所述基座盘底部设有支撑部以支撑所述基座盘； 卡位环，所述卡位环套设于所述基座盘的所述支撑部上，所述卡位环与所述基座盘的相对位置固定以使得所述基座盘升降时带动所述卡位环一起升降；以及 多个杠杆，每个所述杠杆的一端卡接固定于所述卡位环上，另一端与该杠杆相对应的升降销底部的连接座接触连接，以使所述基座盘及所述卡位环发生升降时，所述杠杆转动以带动所述升降销发生与所述卡位环反向的升降，进而带动所述升降销顶部的晶圆升降，其中，每一所述杠杆上还设有多个旋转支点，用于通过选择不同位置的旋转支点，以调整晶圆升降的控制幅度。
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