国家纳米科学中心戴庆获国家专利权
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龙图腾网获悉国家纳米科学中心申请的专利一种低品质因子微悬臂探针的制备方法及其微悬臂探针获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115656559B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211335552.9，技术领域涉及：G01Q70/16；该发明授权一种低品质因子微悬臂探针的制备方法及其微悬臂探针是由戴庆;王丽艳;胡德波设计研发完成，并于2022-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种低品质因子微悬臂探针的制备方法及其微悬臂探针在说明书摘要公布了：本发明提供了一种低品质因子微悬臂探针的制备方法，所述制备方法包括：通过聚焦离子束FIB沉积非金属氧化物的微加工方法在微悬臂探针的悬臂梁上加工微纳结构，引入结构缺陷，增大微悬臂探针的机械热噪声，提高微悬臂探针的本征能量耗散速率，降低微悬臂探针的品质因子，即得所述的低品质因子微悬臂探针。本发明提出的通过聚焦离子束FIB沉积非金属氧化物的微加工方法可有效的降低微悬臂探针的Q值，提高AM‑AFM及SNOM在真空环境中的成像速率。
本发明授权一种低品质因子微悬臂探针的制备方法及其微悬臂探针在权利要求书中公布了：1.一种低品质因子微悬臂探针的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括： 通过聚焦离子束沉积方法在微悬臂探针的悬臂梁上加工微纳结构，引入结构缺陷，即得所述的低品质因子微悬臂探针；其中：所述微纳结构为矩形阵列或圆形阵列； 通过聚焦离子束在所述微悬臂探针的悬臂梁表面和或界面沉积非金属氧化物，使得所述微悬臂探针的悬臂梁表面和或界面结构改变，导致机械热噪声增大，以及弯曲过程中的热弹性阻尼增大。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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