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龙图腾网获悉中北大学申请的专利一种基于单弹光调制器的光谱椭偏精确测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115684026B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211181705.9，技术领域涉及：G01N21/21；该发明授权一种基于单弹光调制器的光谱椭偏精确测量装置及方法是由张瑞;薛鹏;李克武;王志斌设计研发完成，并于2022-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于单弹光调制器的光谱椭偏精确测量装置及方法在说明书摘要公布了：本发明属于光谱椭偏测量装置及方法技术领域，具体涉及一种基于单弹光调制器的光谱椭偏精确测量装置及方法，所述单色仪的光路方向上依次设置有起偏器、弹光调制器、被测样品，所述被测样品的反射光路上依次设置有检偏器、探测器。通过对单个弹光调制加单色仪宽波段单色光扫描，结合对调制后的光电信号进行多倍频信号锁相放大，提高信号的信噪比，结合对多倍频信号幅值理论计算实时获得弹光调制器自身调制相位幅值波动，解决长时间工作及环境影响导致弹光调制器相位延迟幅值不稳定问题，并且根据单色仪输出波长的不同可实时调节弹光调制器驱动电压，以保证最佳调制效率。

本发明授权一种基于单弹光调制器的光谱椭偏精确测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于单弹光调制器的光谱椭偏精确测量装置的测量方法，其特征在于，包括下列步骤： S1、单色仪发出的单色光依次通过起偏器、弹光调制器、被测样品、检偏器和探测器构成测量光路； S2、根据弹光调制驱动控制的驱动频率作为参考信号，多路数字锁相放大电路获得的调制信号进行锁相放大； S3、通过计算机数据处理实时获得弹光调制器的相位延迟幅值，进而精确获得被测样品在被测光波长下的椭偏参量Δ和Ψ； S3.1、计算被测光的Stokes参量Sout； S3.2、求出起偏器、弹光调制器、被测样品和检偏器对应的米勒矩阵； S3.3、计算探测器探测光强的Bessel函数； S3.4、以弹光调制器驱动控制器的驱动信号为参考，多路数字锁相放大电路获得一倍频、二倍频、三倍频、四倍频信号的幅值，计算弹光调制器的任意时刻调制相位延迟幅值； 根据探测器探测光强的Bessel函数，以弹光调制器驱动控制器的驱动信号为参考，多路数字锁相放大电路获得一倍频、二倍频、三倍频、四倍频信号的幅值分别为： 4 其中，Iωλ、I2ωλ、I3ωλ、I4ωλ为探测器经过锁相放大获得的频率分别为ω、2ω、3ω、4ω的信号幅值；Δλ和Ψλ为被测样品的椭偏参量，Δλ为被测样品波长为λ反射光p偏振光和s偏振光相位差，Ψλ为被测样品波长为λ反射光p偏振光和s偏振光振幅比，为弹光调制器波长λ对应的调制相位延迟，为弹光调制器波长λ对应的调制相位延迟幅值，ω为弹光调制器的调制驱动角频率；Jxy是对应y下的第x级Bessel函数； 根据4式实时测得弹光调制相位延迟幅值为： 5 其中，为的反函数； S4、通过计算机控制单色仪的不同的输出波长光通过测试系统，同时根据输出波长调节弹光调制器的驱动电压使其相位延迟幅值满足测试要求，重复上述测量，进而实现光谱椭偏测量； 所述基于单弹光调制器的光谱椭偏精确测量装置，包括单色仪1、起偏器2、弹光调制器3、被测样品4、检偏器5、探测器6、弹光调制器驱动控制器7、多路数字锁相放大电路8和计算机9，所述单色仪1的光路方向上依次设置有起偏器2、弹光调制器3、被测样品4，所述被测样品4的反射光路上依次设置有检偏器5、探测器6，所述弹光调制器3电性连接在弹光调制器驱动控制器7上，所述弹光调制器驱动控制器7电性连接在多路数字锁相放大电路8上，所述探测器6电性连接在多路数字锁相放大电路8上，所述多路数字锁相放大电路8电性连接在计算机9上，所述计算机9与单色仪1电性连接。

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