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龙图腾网获悉中北大学申请的专利基于单弹光调制自反馈的超高速椭偏精确测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115684027B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211182428.3，技术领域涉及：G01N21/21；该发明授权基于单弹光调制自反馈的超高速椭偏精确测量装置及方法是由张瑞;薛鹏;李克武;王志斌设计研发完成，并于2022-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于单弹光调制自反馈的超高速椭偏精确测量装置及方法在说明书摘要公布了：本发明属于椭偏精确测量装置及方法技术领域，具体涉及一种基于单弹光调制自反馈的超高速椭偏精确测量装置及方法，所述光源的光路方向上依次设置有起偏器、四分之一波片、被测样品，所述被测样品的反射光路上依次设置有弹光调制器、检偏器、探测器，所述弹光调制器电性连接有弹光调制器驱动控制及多路数字锁相放大电路。本发明通过对单个弹光调制调制后的光电信号进行多倍频信号锁相放大，以弹光调制器驱动频率为参考，获得一倍频、二倍频、三倍频、四倍频的信号幅值，结合理论计算实时获得两个弹光调制器自身长期工作温度影响及环境影响导致调制相位幅值，进而实现被测样品的椭偏参数Δ和Ψ的精确测量。

本发明授权基于单弹光调制自反馈的超高速椭偏精确测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.基于单弹光调制自反馈的超高速椭偏精确测量装置，其特征在于：包括光源1、起偏器2、四分之一波片3、被测样品4、弹光调制器5、检偏器6、探测器7、弹光调制器驱动控制及多路数字锁相放大电路8和计算机9，所述光源1的光路方向上依次设置有起偏器2、四分之一波片3、被测样品4，所述被测样品4的反射光路上依次设置有弹光调制器5、检偏器6、探测器7，所述弹光调制器5电性连接有弹光调制器驱动控制及多路数字锁相放大电路8，所述探测器7电性连接有计算机9，所述弹光调制器驱动控制及多路数字锁相放大电路8与计算机9电性连接； 所述基于单弹光调制自反馈的超高速椭偏精确测量装置的测量方法，包括下列步骤： S1、光源依次通过起偏器、四分之一波片、被测样品、弹光调制器、检偏器和探测器构成测量光路； S2、根据弹光调制驱动控制及多路数字锁相放大电路提供的弹光调制驱动信号频率作为参考，数字锁相对探测器获得的调制信号进行锁相放大； S3、通过计算机数据处理实时获得弹光调制器的相位延迟幅值，进而精确获得被测样品的椭偏参量Δ和Ψ； S3.1、计算被测光的Stokes参量Sout； S3.2、求出起偏器、四分之一波片、被测样品、弹光调制器和检偏器对应的米勒矩阵； S3.3、计算探测器探测光强的Bessel函数； 由于探测器只能获得Stokes参量Sout中的Iout，因此探测器探测光强的Bessel函数展开为： 3 其中，其中m为奇数，n为偶数，Jxy是对应y下的第x级Bessel函数； S3.4、计算弹光调制器的任意时刻调制相位延迟幅值； 根据公式3，结合锁相放大，以弹光调制器驱动频率为参考，得到不同倍频信号幅值如下： 4 其中，Iω、I2ω、I3ω、I4ω为探测器经过锁相放大获得的频率分别为ω、2ω、3ω、4ω的信号幅值； 根据4式得到实时测得弹光调制调制相位延迟幅值δ0为： 5 其中，为的反函数。

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