卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司D.蔡德勒获国家专利权
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龙图腾网获悉卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司申请的专利具有动态控制的高通过量多束带电粒子检查系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115699245B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180039305.1，技术领域涉及：H01J37/28；该发明授权具有动态控制的高通过量多束带电粒子检查系统是由D.蔡德勒;U.比尔;A.阿道夫;N.考夫曼;I.穆勒;M.本克设计研发完成，并于2021-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有动态控制的高通过量多束带电粒子检查系统在说明书摘要公布了：提供了一种多束带电粒子检查系统和一种操作多束带电粒子检查系统的方法，用于具有高通过量和高分辨率以及高可靠性的晶片检查。该方法和多束带电粒子束检查系统配置成从多个传感器数据中提取一组控制信号来控制多束带电粒子束检查系统，从而维持成像规范，包括在晶片检查任务期间晶片台的移动。特别地，该系统操作为使得时间间隔Tr与图像采集的时间间隔Ts1和或Ts2重叠。
本发明授权具有动态控制的高通过量多束带电粒子检查系统在权利要求书中公布了：1.一种以高通过量和高分辨率操作多束带电粒子显微镜1的方法，包括： -在第一时间间隔Ts1中第一图像块17.1的第一图像采集，和 -在第二时间间隔Ts2中第二图像块17.2的第二图像采集，以及 -第三时间间隔Tr，用于将晶片台500从第一图像块17.1的第一中心位置21.1移动到第二图像块17.2的第二中心位置21.2，使得第一时间间隔Ts1和第二时间间隔Ts2中的至少一个与第三时间间隔Tr重叠， 其中，当所述第一图像块17.1的图像采集完成时，在所述第一时间间隔Ts1结束之前启动晶片移动的第三时间间隔Tr。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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