佳能特机株式会社铃木健太郎获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利对准装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115732379B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211050163.1，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权对准装置是由铃木健太郎;三泽启太;佐藤精二;永田哲也设计研发完成，并于2022-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本对准装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种对准装置，抑制成膜中的基板与掩模的对准时的位置偏离，提高对准精度。该对准装置具备：在沿着基板的被成膜面的平面内进行基板与掩模的相对位置调整的对准机构、在与平面交叉的交叉方向上使基板相对于掩模的相对位置移动的移动机构、以及测定平面中的基板的位置的测定机构，在将与基板不同的夹具配置于第一高度的状态下，测定机构测定夹具带有的夹具标记的第一位置信息，在将夹具配置于第二高度的状态下，测定机构测定夹具标记的第二位置信息。
本发明授权对准装置在权利要求书中公布了：1.一种对准装置，所述对准装置的特征在于，具备： 对准机构，所述对准机构在沿着基板的被成膜面的平面内，进行所述基板与掩模的相对位置调整； 移动机构，所述移动机构在与所述平面交叉的交叉方向上，使所述基板相对于所述掩模的相对位置移动； 测定机构，所述测定机构测定所述平面中的所述基板的位置；及 基板支承机构，所述基板支承机构支承所述基板， 所述基板支承机构能够支承夹具来取代支承所述基板，所述夹具的挠曲量比所述基板少， 在将所述夹具配置于第一高度的状态下，所述测定机构测定所述夹具带有的补正标记的第一位置信息， 在将所述夹具配置于比所述第一高度接近所述掩模的第二高度的状态下，所述测定机构测定所述补正标记的第二位置信息， 使用所述第一位置信息及所述第二位置信息，为了调整所述测定机构具有的相机的光轴或者所述移动机构的轴而计算用于所述相对位置调整的补正值。
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