微软技术许可有限责任公司U·巴兰获国家专利权
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龙图腾网获悉微软技术许可有限责任公司申请的专利具有邻近于扫描镜的相对侧而悬臂的致动器对的微机电系统(MEMS)扫描仪获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115768716B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180043579.8，技术领域涉及：B81B3/00；该发明授权具有邻近于扫描镜的相对侧而悬臂的致动器对的微机电系统(MEMS)扫描仪是由U·巴兰设计研发完成，并于2021-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有邻近于扫描镜的相对侧而悬臂的致动器对的微机电系统(MEMS)扫描仪在说明书摘要公布了：一种微机电系统MEMS扫描仪200，其具有与扫描镜206的侧面204相邻的致动器对202。致动器对202包括个体致动器210，其物理上邻近于所述扫描镜的相对侧204定位，并且在激活时，向扫描镜206中诱发角旋转。扭转梁挠曲件214从框架结构212悬置扫描镜206，并且促进扫描镜206绕旋转轴218的旋转。在MEMS扫描仪的操作期间，驱动信号可以被施加到致动器对202，以使得致动器对的每个个体致动器210一致变形，由此生成一定程度的尖端偏转。由于扭转梁挠曲件214经由杠杆臂被连接到致动器210的尖端，所以该尖端偏转用作致动器行程，所述致动器行程向扭转梁挠曲件214中诱发扭转变形——由此引起扫描镜206绕旋转轴218的旋转。
本发明授权具有邻近于扫描镜的相对侧而悬臂的致动器对的微机电系统(MEMS)扫描仪在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统MEMS扫描设备，包括： 扫描镜，其包括： 第一端和与所述第一端相对的第二端；以及 第一侧和与所述第一侧相对的第二侧； 第一扭转梁挠曲件，其从框架结构机械地悬置所述扫描镜的所述第一端； 第二扭转梁挠曲件，其从所述框架结构机械地悬置所述扫描镜的所述第二端； 第一致动器对，其至少部分地邻近于所述扫描镜的所述第一侧来设置；以及 第二致动器对，其至少部分地邻近于所述扫描镜的所述第二侧来设置， 其中，邻近于所述扫描镜的侧面是指不在物理上位于从其机械悬置所述扫描镜的端部之外。
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