楚赟科技(绍兴)有限公司谢鹏飞获国家专利权
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龙图腾网获悉楚赟科技(绍兴)有限公司申请的专利MOCVD反应室的隔离挡板装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115807265B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211637515.3，技术领域涉及：C30B25/14；该发明授权MOCVD反应室的隔离挡板装置是由谢鹏飞;张志明;刘雷;邢志刚;徐春阳;金隽;周慧娟设计研发完成，并于2022-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本MOCVD反应室的隔离挡板装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种MOCVD反应室的隔离挡板装置，包括环形挡板、位于环形挡板内部适于容纳冷却液的夹层流道、位于夹层流道一端的注液通道、位于夹层流道另一端的出液通道，以及将夹层流道和注液通道连通的多个注入通路，将夹层流道和出液通道连通的多个排出通路；环形挡板由上至下包括多个内径不同的环形段部，以使环形挡板呈台阶状；夹层流道在竖直方向的剖面上为梯形。本发明通过调整隔离挡板装置中冷却液注入和导出的位置使得冷却液在夹层流道内的流动范围更大且分布更均匀，改善了隔离挡板冷却不均匀的问题，提高了反应室内部温场分布的均匀性，并对夹层流道的形状进行设计，减小了冷却液流动过程中的死角，进一步增强了降温效果。
本发明授权MOCVD反应室的隔离挡板装置在权利要求书中公布了：1.一种MOCVD反应室的隔离挡板装置，其特征在于，包括： 环形挡板、位于所述环形挡板内部适于容纳冷却液的夹层流道、位于所述夹层流道一端的注液通道、位于所述夹层流道另一端的出液通道，以及将所述夹层流道和所述注液通道连通的多个注入通路、将所述夹层流道和所述出液通道连通的多个排出通路； 所述环形挡板由上至下包括多个内径不同的环形段部，以使所述环形挡板呈台阶状，以及至少部分所述环形段部与竖直方向之间形成夹角； 所述夹层流道在竖直方向的剖面上为梯形，使得所述夹层流道呈圆台形； 所述夹层流道由上至下内径逐渐增大； 所述注入通路和所述排出通路在所述夹层流道的两端所述夹层流道的中心轴线对称设置。
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