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南方科技大学刘凯鑫获国家专利权

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龙图腾网获悉南方科技大学申请的专利基于扫描探针显微镜的电介质高分辨陷阱成像方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116773855B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310544793.2,技术领域涉及:G01Q60/30;该发明授权基于扫描探针显微镜的电介质高分辨陷阱成像方法及系统是由刘凯鑫;黄博远;宋春林;张凤元;李江宇设计研发完成,并于2023-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。

基于扫描探针显微镜的电介质高分辨陷阱成像方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于扫描探针显微镜的电介质高空间分辨陷阱成像方法及系统,方法包括:记录撤去电压后样品表面形貌图像序列和表面电势图像序列;根据表面形貌图像序列校对图像偏移,并从校对后的表面电势图像序列中提取得到各像素点的表面电势衰减数据;根据各像素点的表面电势衰减数据,通过拟合、计算确定各像素点的陷阱分布信息;根据所有像素点的陷阱分布信息,对应各像素点的原位置形成与薄膜表面形貌对应的深、浅陷阱能级峰值图像和或深、浅陷阱密度峰值图像。本方法在纳米尺度实现样品的陷阱特性的直接成像,具有空间分辨率高、可直观对比等优点。

本发明授权基于扫描探针显微镜的电介质高分辨陷阱成像方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于扫描探针显微镜的电介质高空间分辨陷阱成像方法,其特征在于,包括步骤: 记录撤去电压后样品的表面形貌图像序列和表面电势图像序列;在记录撤去电压后样品的表面形貌图像序列和表面电势图像序列时,采用电荷的注入、输运的表面电势动态监控,通过纳米探针注入电荷并对注入电荷后材料表面电势随时间变化进行不间断记录,直至表面电势趋于稳定; 根据所述表面形貌图像序列校对图像偏移并从校对后的表面电势图像序列中提取得到各像素点的表面电势衰减数据; 根据各像素点的表面电势衰减数据,通过拟合和计算确定各像素点的陷阱分布信息; 根据所有像素点的陷阱分布信息,对应各像素点的原位置形成与薄膜表面形貌对应的深、浅陷阱能级峰值图像和或深、浅陷阱密度峰值图像; 根据所述表面形貌图像序列校对图像偏移并从校对后的表面电势图像序列中提取得到各像素点的表面电势衰减数据,包括: 以所述表面形貌图像序列的表面形貌信息为参考,以图像序列的截取和特征的对应来校准在不间断扫描过程中产生的图像偏移,提取校对后的表面电势图像序列各像素点的表面电势衰减数据。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南方科技大学,其通讯地址为:518055 广东省深圳市南山区桃源街道学苑大道1088号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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