苏州长瑞光电有限公司李加伟获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州长瑞光电有限公司申请的专利模态可控的垂直腔面发射激光器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116826519B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310982820.4，技术领域涉及：H01S5/183；该发明授权模态可控的垂直腔面发射激光器及其制备方法是由李加伟;向宇;赖铭智设计研发完成，并于2023-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本模态可控的垂直腔面发射激光器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种模态可控的垂直腔面发射激光器。本发明激光器的光窗表面被分为位于中间的第一区域和包围第一区域的第二区域，在第二区域之上设置有至少一层模态调节复合层，模态调节复合层由下层的高功函氧化物层和上层的低功函金属材料层组成，高功函氧化物层的厚度为2n+1λ4且其上表面经过粗糙处理，λ为所述垂直腔面发射激光器的波长，n为自然数，其中的部分或全部高功函氧化物处于欠氧化态，低功函金属材料层由低功函金属与部分欠氧化低功函金属氧化物构成或者全部由欠氧化低功函金属氧化物构成。本发明还公开了其制备方法。本发明可对激光器的模态进行有效调控，且无需改变现有VCSEL激光器的基本结构，可在现有工艺基础上实现。
本发明授权模态可控的垂直腔面发射激光器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种模态可控的垂直腔面发射激光器，包括自上而下的上DBR层、有源层、下DBR层以及夹设于上DBR层内且中间形成有氧化孔的氧化层，在上DBR层顶面形成有用于激光出射的光窗；其特征在于，所述光窗表面被分为位于中间的第一区域和包围所述第一区域的第二区域，在所述第二区域之上设置有至少一层模态调节复合层，所述模态调节复合层由下层的高功函氧化物层和上层的低功函金属材料层组成，所述高功函氧化物层的厚度为2n+1λ4且其上表面经过粗糙处理，λ为所述垂直腔面发射激光器的波长，n为自然数，所述高功函氧化物层中的部分或全部高功函氧化物处于欠氧化态，所述低功函金属材料层由低功函金属与部分处于欠氧化态的低功函金属氧化物构成或者全部由处于欠氧化态的低功函金属氧化物构成。
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