江苏富乐德石英科技有限公司张月清获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏富乐德石英科技有限公司申请的专利一种真空吸附式石英腔体焊接辅助装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116921965B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311087769.7,技术领域涉及:B23K37/04;该发明授权一种真空吸附式石英腔体焊接辅助装置是由张月清;陈海源;杨军设计研发完成,并于2023-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空吸附式石英腔体焊接辅助装置在说明书摘要公布了:一种真空吸附式石英腔体焊接辅助装置,本发明涉及半导体加工技术领域,外推板分别利用横向导杆活动设置于框体的四个外侧面外侧;真空吸盘设置在外推板的外侧壁上;滑槽板背板固定在横向导杆的内端上;滑槽板固定在滑槽板背板的内侧面上;十字推板上下活动设置于框体的内部,且十字推板的四个端板上均连接有滑槽杆,滑槽杆上下滑动设置在开设于滑槽板中的弧形滑槽中;直线伺服电机固定在框体的底部,且直线伺服电机的输出端上连接推杆,推杆与十字推板利用铰链连接。通过真空吸附要焊接的石英板,固定垂直度好,不需要假接,可以实现各种尺寸的板焊接,可以实现多接口同步焊接。
本发明授权一种真空吸附式石英腔体焊接辅助装置在权利要求书中公布了:1.一种真空吸附式石英腔体焊接辅助装置,其特征在于:它包含框体1和支腿2;框体1的底部四角固定有支腿2;它还包含: 外推板3,所述外推板3为四个,分别利用横向导杆10活动设置于框体1的四个外侧面外侧;外推板3的底部固定有石英托板5; 真空吸盘4,所述真空吸盘4为数个,两两为一组,设置在外推板3的外侧壁上; 滑槽板背板6,所述滑槽板背板6为四个,分别与每一个外推板3内外对应设置,且固定在横向导杆10的内端上; 滑槽板8,所述滑槽板8为数个,两两为一组,固定在滑槽板背板6的内侧面上; 十字推板7,所述十字推板7上下活动设置于框体1的内部,且十字推板7的四个端板上均连接有滑槽杆9,滑槽杆9上下滑动设置在开设于滑槽板8中的弧形滑槽8-1中; 直线伺服电机11,所述直线伺服电机11固定在框体1的底部,且直线伺服电机11的输出端上连接推杆12,推杆12与十字推板7利用铰链连接; 所述十字推板7的四个端板中均活动穿设有纵向导杆13,纵向导杆13的底端固定在框体1的内底壁上。
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