源能智创(江苏)半导体有限公司张易方获国家专利权
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龙图腾网获悉源能智创(江苏)半导体有限公司申请的专利一种曝光图形网格精度的补偿方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117331287B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311419054.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种曝光图形网格精度的补偿方法是由张易方;刘栋;胡传武;李文章;朱亮;张雷设计研发完成，并于2023-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种曝光图形网格精度的补偿方法在说明书摘要公布了：一种曝光图形网格精度的补偿方法，首先获得曝光标定板，所述曝光标定板包括呈行列排列的基础点；然后选取曝光标定板的基础点作为对位点，对曝光标定板进行对位曝光，获得检测点，所述检测点和基础点一一对应为一组测试点；获取测试点的图像，根据测试点的图像获取曝光补偿值。本发明所述的曝光图形网格精度的补偿方法仅需整版曝光两次，获取两次坐标数据，坐标数据提取量大大减少，同时，根据测得检测点的数据与基础点的数据的差异做调整，减小相机自身测量误差导致的叠加偏差，优化整体网格的均匀性及双机台之间互套效果。
本发明授权一种曝光图形网格精度的补偿方法在权利要求书中公布了：1.一种曝光图形网格精度的补偿方法，首先获得曝光标定板，所述曝光标定板包括呈行列排列的基础点；然后选取曝光标定板的基础点作为对位点，对曝光标定板进行对位曝光，获得检测点，所述检测点和基础点一一对应为一组测试点；获取测试点的图像，根据测试点的图像获取曝光补偿值，所述曝光补偿值包括全局错切补偿值、多路补偿值、场间拼接补偿值、外层对准平移补偿值；验证所述曝光补偿值时，以基础点为对位点，再次对位曝光，曝光图像为与基础点一一对应的验证检测点的阵列图形，曝光时加入曝光补偿值，获得验证测试点，获取测试点的图像，验证曝光补偿值的准确性。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人源能智创(江苏)半导体有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市昆山市玉山镇南淞路111号华平(昆山)智造园B-6号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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