深圳清力技术有限公司张弘毅获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳清力技术有限公司申请的专利一种锡膜及其制备方法和微纳器件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117448752B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311379258.2，技术领域涉及：C23C14/30；该发明授权一种锡膜及其制备方法和微纳器件是由张弘毅设计研发完成，并于2023-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种锡膜及其制备方法和微纳器件在说明书摘要公布了：本发明提供了一种锡膜及其制备方法和微纳器件。所述锡膜的制备方法包括以下步骤：1将清洗干净的基片固定在电子束蒸镀设备的转台脚棒支架上；将装有锡膜料的蒸发舟安装至电子枪正负电极之间的转盘上，并用遮板盖住所述蒸发舟；2将真空室抽真空，然后通入惰性气体，再将所述蒸发舟加热至预设温度，所述预设温度为100～150℃；3待所述电子枪的束流达到目标束流时打开所述遮板进行蒸镀，所述目标束流为0.02～0.15A；4当锡膜的厚度达到目标膜厚时结束蒸镀。本发明的制备方法通过对熔融状态下的锡膜料进行电子束轰击，可以制备得到均匀性良好且无外观缺陷的锡膜，明显提高了锡膜的质量。
本发明授权一种锡膜及其制备方法和微纳器件在权利要求书中公布了：1.一种锡膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1将清洗干净的基片固定在电子束蒸镀设备的转台脚棒支架上；将装有锡膜料的蒸发舟安装至电子枪正负电极之间的转盘上，并用遮板盖住所述蒸发舟； 2将真空室抽真空，然后通入惰性气体，再将所述蒸发舟加热至预设温度，所述预设温度为100~150℃； 3所述电子枪的束流分多阶段上升，直至所述电子枪的束流达到目标束流并稳定后打开所述遮板进行蒸镀，所述目标束流为0.02~0.15A； 4当锡膜的厚度达到目标膜厚时结束蒸镀。
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